Vol.52 / 技術專文
Increasing the capacity of Ammonium Sulfate Crystallization
循環經濟-硫酸銨結晶系統產能提升策略
2018年台積引入機械式蒸氣再壓縮技術處理硫酸銨廢液,2021年將此技術由中科導入至竹科與南科。竹科與中南科非同系統商建造,其系統設計有部分不同,故在實務運轉之操作參數亦有差異;F12B藉由控制結晶顆粒大小來穩定推...

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Vol.27 / 技術專文
The Fingerprint Database of Chemical PPT Metal Pollution & Improvement
化學品金屬汙染指紋資料庫與改善對策
由摩爾定律「單位面積電晶體數目每18個月就會增加一倍」可知半導體業界晶圓線寬將日漸縮小。因應電晶體線寬的縮小,黃光、蝕刻等製程要求的化學品純度也越高,從早期「百萬分之一」(Parts Per Million, PP...

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