TSMC 廠務季刊

2020.12, Vol.40 / 技術專文

The wastewater treatment challenge of metal-organic compound in leading-edge semiconductor manufacturing technology

有機型鈷於半導體先進製程中水處理的挑戰

文 | 蕭宇辰 | 新廠設計部 | 蘇俊豪 | 中科廠務五部 | 吳旻學 | 中科廠務二部 | 邱德欽 | 竹科廠務四部 |

為延續摩爾定律，導入低電阻金屬材料成為必然，半導體業並於先進製程10/7nm導入鈷作為應用，鈷具毒性，為國內放流水標準今年新增管制項目之一。目前製程鈷排放90%以樹脂及電鍍回收，剩餘10%為Co-CMP排放，暫以ACF+...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文

Active Defense Enhancement of Uninterrupted Power System (UPS)

機台不斷電系統主動防禦強化

文 | 楊智翔 | 賴建翔 | 中科廠務三部 |

隨著製程不斷演進，新廠機台所使用之不斷電系統(UPS)數量亦越來越多，然UPS內部使用之元件有著各種不同的故障模式，若能早期發現甚至預防，將能有效降低對生產之影響。本文藉年保時發現：1.電解電容漏液溢出至下方IGB...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文

Preventive Detection Mechanism for Power Module Capacitor in Eaton 9395 Uninterrupted Power System

不斷電系統電力模組電容失效偵測機制

文 | 胡緯民 | 周俊宏 | 蔡祐立 | 南科廠務三部 |

隨著半導體製程演進，提升供電可靠度維持機台負載端多樣性電源屬性及供電品質，電容已變成不可或缺的重要因子，台積公司使用不斷電系統(UPS)數量與日俱增，其中電解電容使用於UPS本體設計中扮演濾波及穩壓重要角色，回顧E...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文

Preventive Detection Mechanism for Attenuation of Direct Current Capacitor in Variable - frequency Drive

變頻器直流電容衰減預防檢測機制

文 | 陳弘毅 | 中科廠務一部 |

本文針對已在線上運轉之變頻器，並本身無設計直流電容端電壓與電流偵測之系統，提出不停機即可初篩內部直流電容是否失效之方法。利用直流電容端點的引出，即可線上量測漣波電壓比值，進而反映串聯電容兩端之電容比值。由漣波電壓之...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文

Selection of Series Reactors for AC-Capacitor-Filter Set on Low-Voltage Level and Operating Experience

交流低壓電容盤電抗器的選用與運轉經驗

文 | 廖日能 | 陳信任 | 中科廠務一部 |

為落實高科技廠房節能減碳之目標，廠內UPS運轉皆採節能模式，下游負載諧波可直接流回系統導致諧波增高，如何治理系統諧波成為廠務一項重要課題。本文目標主要針對被動式濾波器4.04%和6.06%(交流低壓電容盤)進行諧波...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文

Power Factor Management of Advanced IC Fab

談先進製程廠房電力系統功因管理

文 | 黃舜鴻 | 竹科廠務二部 |

功率因數為交流電力系統之特有物理量，為有效功率與視在功率的比值，此物理量為整體系統效率及無效電力量(Q)的重要指標，因此需加以掌握功率因數的原因。由於台電於105年4月實施修正後的電費抵減之相關規定，功率因數大於9...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

The Practical Assessment for UPS Power Efficiency Improvement

不斷電系統效率提升實務探討

文 | 黃鈵翔 | 胡家誠 | 南科廠務三部 |

本文主旨在於廠內穩定運轉的前提下，不變更UPS整體架構，探討成本與改善可行性，使Delta NT 500kVA UPS效率得以提升，達到節能減碳的效果。針對UPS既有架構提出三種節能想法，可分別在online和EC...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

Online Monitoring AC/DC Capacitors Ageing of UPS

不斷電系統電容器老化在線監測及本質壽命評估

文 | 沈禎道 | 新廠設計部 |

UPS應用於廠內電力敏感設備的防護已行之有年，在平時運轉中，時有因內部異常導致UPS切換，雖然大部分的切換對下游負載並無影響，但有時仍會影響負載或引發更大的電力事故。本文統計歷年UPS異常原因，發現電容器異常佔內部...

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