Vol.50 / 技術專文
The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency
發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討
近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高,許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電,協助台電分擔電網負荷,渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

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Vol.32 / 技術專文
A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
隨著公司近年來陸續進入先進製程,使用的氣體及化學品種類變得更多,生產過程也變得更複雜,衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題,顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣,鑑別出酸性排...

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Vol.32 / 技術專文
Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid
廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護提升
本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗,評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

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Vol.03 / 技術專文
Exhaust Monitoring System Study and Design
廠務排氣監控系統探討與設計
AAS(Air Abatement System)是半導體晶圓廠生產所必需的重要系統,必須考量許多因素以符合各項運轉需求,如安全控管、空間運用、系統容量設計及運轉操作維修等等,故於建廠階段就必須將所有相關因素納入設...

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