Vol.46 / 技術專文
Safety and Protection Management of Applying ATS in FPB Power Topology
FPB ATS電源改接作業安全管理
FFU為維持潔淨室環境的重要空調設備,FFU電源架構改接ATS可提高供電可靠度,但電源改接期間必須盡可能縮短作業時間以避免FFU停電過久影響潔淨室環境供應。本文以實際歲修案例分享電源改接作業之安全管理措施,降低人員作業風...

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Vol.45 / 技術專文
IOT Technology Is Applied To The FFU Speed Control Automatically For The Evenly Temperature Of The Clean Room
IOT技術應用於FFU轉速自動化調整無塵室溫度均勻分布
近年來物聯網技術發展越趨成熟,與半導體產業相輔相成,電晶體到了21世紀,製程已達到奈米等級,大幅降低功耗,而低功耗設計正是物聯網中的感測器可否被廣泛運用的關鍵因素,因此半導體技術的進步是促成物聯網快速發展的推手,也...

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Vol.18 / 新象新知
Design and Application of Upward Clean Air Circulation System
上回風潔淨循環系統的設計與應用
傳統FFU-DCC式之潔淨室設計,對於機台本身熱散逸至潔淨室所產生熱對流作用之上升氣流,容易與FFU向下送的潔淨循環氣流相撞後彼此產生干擾,迫使潔淨循環氣流無法達成有效的動量輸送,造成微粒滯留在潔淨室內;利用FDC...

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