TSMC 廠務季刊

2023.3, Ann.2022 / 技術專文

Sharing of Fab15P12 Annual Maintenance Report and Abnormal GIS Hydraulic Pump Components Case Handling

Fab15P12年度維修報告與GIS儲能機構異常處理分享

文 | 李俊宏 | 曾韋然 | 十二廠六期專案 | 張裕政 |

F15P12於2011年成廠至今已執行過2次歲修(2015/2019)，本次F15P12為APM Ground Rule 模式規劃後，首個依規畫執行保養項目的廠區。本次歲修訂於2022年4/12~4/14進行F15P12...

按讚

0

點閱 (34)

2022.9, Vol.47 / 技術專文

Development and application of an integrated auto-clean machine for Pumping-line

Pumping-line 全自動清管器的開發與應用

文 | 植軍章 | 謝儀明 | 南京廠務部 |

「製程排氣管路」(Pumping-line)作為「生產機臺附屬系統的一環，一方面承載著提供製程chamber高真空度環境的作用，另一方面也是製程排氣輸送至「現址式廢氣處理洗滌塔」(Local scrubber, L...

按讚

0

點閱 (56)

2019.9, Vol.35 / 技術專文

Operating Parameters Optimization of Chiller System through Big Data

大數據分析冰水供應系統操作參數最佳化設定

文 | 吳孝修 | 蔡宗原 | 竹科廠務二部 |

近年來廠務系統上的訊號源已收集至資料庫內，但這些資料以往只針對系統供應品質上去分析，鮮少對系統優化或者是節能運轉去探討，本專案採用i-EDA2 / SAS數據分析軟體，將冰水供應系統最佳壓力設定進行調整，此調整基準...

按讚

0

點閱 (114)

2012.10, Vol.08 / 技術專文

MAU Air Washer Pump Flow Diagnosis and Improvement

外氣空調箱水洗加濕泵浦之流量診斷與改善方案

文 | 陳昭文 | 新廠營建部 |

外氣空調箱（Make-up Air Unit, 以下簡稱MAU）是提供潔淨空氣至無塵室，做為無塵室的濕度調整及減低室外空氣AMC濃度的重要設備，其中外氣水洗系統（Air Washer System）更是關鍵性設備，...

按讚

0

點閱 (45)

2011.10, Vol.04 / 技術專文

Heat Pump Application and Energy Saving

熱泵的節能與應用

文 | 王義信 | 李玫 | 設計營建部 |

Heat pump乃是利用卡諾循環 (Carnot cycle)設計的一種熱機，而"熱泵"是由英文 Heatpump 翻譯而來，熱泵壓縮機利用吸收環境的熱能，不需燃燒，不產生二氧化碳及廢熱氣，可...

按讚

0

點閱 (40)

2011.10, Vol.04 / 技術專文

Innovative Uninterrupted Supply Mode of Air-powered Pump

創新之泵浦不中斷供應模式

文 | 高燕桐 | 十五廠廠務部 |

任何製造業公司在遇到任何供應異常狀況發生時，無不希望工廠能不受任何影響，可以繼續生產，因為生產時間是公司多獲利的關鍵之一，所以各家公司無不絞盡腦汁進行各種創新改善，就只是為了能爭取到不中斷的生產時間，以下就有一項創...

按讚

0

點閱 (39)

2011.4, Vol.02 / 特別企劃

The Energy Saving Study of Variable Primary Flow Chiller System

冰水系統之節能探討

文 | 林學成 | 設計營建部 |

在半導體廠之運轉電費，由以往經驗來看，冰機系統佔總耗電量，高達14%之多，如圖1所示，故由冰機系統切入考量，可得到一定比重之節能成效。有鑑於此，tsmc評估既有系統架構之優缺點後，...

按讚

0

點閱 (49)

文章分類

熱門關鍵詞