TSMC 廠務季刊

2023.03, Vol.49 / 技術專文

The Management of Valve Manifold Panel (VMP) & cylinder locks for gas

氣體VMP & 鋼瓶鎖固優化管理

文 | 陳育祥 | 詹育智 | 廠務技術發展部 |

事前預防，減少洩漏事故，是避免造成重大財產和人員傷亡的必要條件。本文將以先期 VMP與高壓氫氣體洩漏案件出發，藉由實地至和淞科技股份有限公司(Taiwan Puritic Corp, TPC)抽驗墊片(包括廠驗、現...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Innovative management of Chemical Filters-Pre-clean and Transferred

化學品濾心創新管理-預洗與活體移植

文 | 梁高維 | 廠務 | 羅立偉 | 亞太廠務處 |

半導體製程的快速演進，高純度化學品供應面臨嚴苛挑戰，廠務系統定時保養更換系統耗材或配件影響風險較高，每一次的更換，除了要維持金屬及不純物含量的品質監控，如何快速達成必然成為廠務義不容辭的課題，本文以經常性更換之濾心(Fi...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Exploration and Application of Autonomous air pollution detection in Nanjing Factory

南京廠空污自主檢測的探索與應用

文 | 張波 | 南京廠務部 |

環境問題已然成為當今全球最重視的話題之一，隨著半導體行業的飛速發展，人們也越來越重視該行業廢氣排放的研究與改善，但受限於在綫監測儀器的分佈率及成本，實驗手動檢測仍然是空污改善最常用的量測手段。因此南京厰建立廠內空污檢測實...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

Prevention of chemical filter contamination

化學系統濾心污染防治

文 | 羅立偉 | 日本新廠專案 | 鍾易龍 | 新廠設計部 | 梁高維 | 台南廠務七部 |

隨先進製程技術不斷推進，化學供應品質也面臨挑戰，偵測品質標準中的金屬含量及含不純物成為製程關鍵。既往影響產線供應品質汙染源，以原物料及耗材供應商製造與包裝品質異常之案例為甚，又以定時保養更換系統耗材或配件影響風險較...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文

Comprehend the characteristics of material and enhance the quality of mixing chemical

掌握原物料特性–精進CR168混酸品質

文 | 李家逢 | 黃玄根 | 南科廠務2廠務二部 |

黃光微影製程為半導體製造技術之瓶頸，主要在於現代科技的進步導致線寬的縮限，為了提高晶圓產能及良率，廠區對於原物料供應品質尤其要求。然而許多原物料也因應製程需求添加額外成分(例如 : CR168界面活性劑)連帶影響本身化學...

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2013.9, Vol.11 / 技術專文

The Relevant Provisions of the Precast Concrete Construction and Inspection Focuses

預鑄工程相關規定及查驗重點

文 | 沈慶豐 | 潘冀聯合建築師事務所 | 謝冠章 | 工程品質暨安全管理部 |

土木工程中之預鑄工法是將原本需要在現地進行的絕大多數工作項目，移至工廠中進行，包括樑、柱、版等主要構件，都可以預鑄方式生產。工地現場只剩下構件組立、鋼筋續接，以及非常有限的混凝土澆置等工作項目，可說是將現場工作量降...

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