文章分類

熱門關鍵詞

中文 | Keyword
首頁 / 分類閱讀 /
2020.6, Vol.36 / 技術專文
A Study of Slurry Supply Quality during Stage Transfer from Advanced Process to Mass Production : A Case of WMG Slurry
先進製程轉量產之研磨液供應品質探討─以鎢金屬閘極製程研磨液為例
文 | 邱懷德 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |
半導體製程中，積體電路的線路由微影顯像及光阻蝕刻的方式製造，線路的厚度則是藉由化學機械研磨(Chemical- Mechanical Planarization, CMP)的平坦化製程所控制。隨著製程線寬的微縮，CMP製...

按讚

0

收藏

0
點閱 (167)
2020.6, Vol.36 / 技術專文
Pratices of Cobalt Sulfate Wastewater Recycling as a Realization of Circular Economy
論含硫酸鈷廢水循環經濟再利用之實務處理方法
文 | 曾宏升 | 蔡宇軒 | 王世民 | 竹科廠務五部 水處理二課 |
台積竹科十二吋廠區生產先進製程晶圓，其機台將排放含鈷廢水，排放規劃則依據排水含鈷濃度從機台進行分流，低濃度含鈷廢水(<100mg/L)導入鈷樹脂提濃系統處理，高濃度廢液(2,300mg/L)委外清運，隨著先進製程產...

按讚

0

收藏

0
點閱 (75)