Vol.52 / 技術專文
Innovative management strategies for water systems in the new generation of manufacturing processes
新世代製程之水系統創新管理對策
本文累積過往新成廠經驗,水處理系統在這些過程中遇過許多挫折但也因這些經驗,逐步強化水處理系統防禦機制,發展出一套管理方法,面對快速成廠的過程中,面臨系統尚未完成建置,需逐步與設備協調其純水與化學品洗淨的總量管制,在...

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Vol.48 / 技術專文
Management Of Facility Water System Operation for Fast Ramping Up
因應新廠快速擴產下的水系統運轉管理心法
近年新廠快速擴展,於2021年達到前所未見的高峰(F12P8, F18P4/P5, AP2C, AP06),平均每90天完成一座FAB。因應裝機時程緊湊,整體工期需較以往縮減6~9個月,主要挑戰如下 : ①缺工缺料 : ...

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Vol.44 / 技術專文
The defense and strategy against small molecule TOC in UPW system
純水小分子TOC的防禦與對策
隨著半導體製程的精進(N5→N3製程),使用的超純水越趨純淨,其中總有機碳(TOC)過高將導致晶圓表面氧化及結晶缺陷,導致蝕刻不均、清洗效率不佳。各廠廠務超純水系統對TOC素有極高的去除效率(POU出口已...

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Vol.10 / 技術專文
UPW Future Trend: Functional Water
機能水的應用
本文主要介紹目前及未來機台超純水可能使用的走向,機能水的應用及原理,機能水可增加去除效率及減少化學品的耗量,如O3 +DIW,去除有機物(取代SPM功能),CO2+DIW,防止帶電,增加微粒子去除效率&hellip...

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