Ann.2023 / 技術專文
Sharing of Fab 12B Annual Maintenance Report and Gas PCV Valve Maintenance Experience
Fab 12B 年度維修報告及氣體 PCV 主閥維修經驗分享
F12B(F12P6/7) 於 Y2023 分別執行大型 (100% 停電 ) 及中型 (44% 停電 )APM,共計執行 30.5 套低壓列盤停電保養、 ACB 保養與相對應的 relay 保養測試共 709 顆,另外...

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Vol.44 / 技術專文
Application of valve abnormally detected in gas cabinet
氣櫃閥件異常偵測應用
特殊氣體供應系統(Special gas supply system, SGS)的穩定供應源自於氣櫃(Gas cabinet, GC)的落實管理,想要有效的管理氣櫃就必須了解氣櫃的操作流程及氣櫃PLC的控制邏輯。亞...

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Vol.23 / 技術專文
Innovation in Slurry In - line H2O2 Detection
研磨液之雙氧水即時量測技術進化
本文主要分析雙氧水滴定儀使用上之問題,針對六向閥和螺桿組進行新概念設計、硬體改造,以及軟體計算進行驗證和優化,包含將滴定儀用作定量的六向閥移除,改由閥件之滯吸力進行定量,並將定量管拉出毛細管,強化管內的附著力,避免...

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Vol.03 / 特別企劃
Exhaust Damper Improvement, Development and Application in New Fab Construction
排氣系統風門型式發展與新建廠區之應用
在廠務排氣系統的建置過程中,風門與風管為主要的構成元件。若以去年新建完成之十四廠四期廠區為例,整個排氣系統的建置總排氣量,約為3,000,000CMH,其中風管的材料使用總量,達到30,000平方公尺以上。若單就風...

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Vol.03 / 特別企劃
General Introduction of Smart Device Diagnosis to Improve Process Efficiency Management
由控制閥診斷談製程效能管理
儀錶製造的技術及功能近年來因IC研發及製程的進步而日新月異,近十年來各大控制廠商也陸續設計出智能儀錶(Smart Device 或Intelligent Device)。而儀錶設備如何應用在製程生產讓控制生產更加穩...

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