New Waste Sulfuric Acid Recycle System Development
新世代的廢硫酸回收處理系統開發
目前台積電各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中的雙氧水後回用於氨氮廢水處理等系統,本文針對既有鹽酸法所衍生之含氯物質(氯氣、氯離子)之腐蝕、殘留等問題作一探討和研究後,提出新的處理技術-硝酸法,並透過實驗室以及模廠兩種不同等...
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