Vol.52 / 技術專文
New Waste Sulfuric Acid Recycle System Development
新世代的廢硫酸回收處理系統開發
目前台積電各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中的雙氧水後回用於氨氮廢水處理等系統,本文針對既有鹽酸法所衍生之含氯物質(氯氣、氯離子)之腐蝕、殘留等問題作一探討和研究後,提出新的處理技術-硝酸法,並透過實驗室以及模廠兩種不同等...

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Vol.44 / 技術專文
Optimization Of Waste H2SO4 Decrease H2O2 System
廢硫酸去除雙氧水系統最佳化探討
本文以「最佳化探討」(Optimization)廢硫酸去除雙氧水系統,針對廢硫酸(W-H2SO4)去除雙氧水(H2O2)回收系...

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Vol.32 / 技術專文
Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid
廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護提升
本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗,評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

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