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2023.09, Vol.51 / 技術專文
The Investigation and Application of Central Scrubber for Ammonia Emission Reduction
與時俱進的煙道革命_廠區洗滌塔氨氣排放削減研究與應用
文 | 吳瑞興 | 台南廠務一部 | 陳元昊 | 綠色製造部 | 邱冠瑋 | 台南廠務一部 | 陳睿森 | 台南廠務二部 |
隨著空氣污染防治議題蓬勃發展、環保法規日益嚴峻等等原因，空氣污染防治技術及煙道排放濃度減量逐漸成為關注焦點。TSMC F6及F14A共同遭遇的空污問題以酸性洗滌塔(SEX)酸鹼混排及去除效率不佳為主，為符合未來法規...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
With more strictly air pollution regulations, Local Scrubber improve strategy for aged operation Fab
日趨嚴謹空污法規對於成廠區LSC之精進改善
文 | 盧泓佑 | 新竹廠務二部 | 康智翔 | 新竹廠務二部 |
歷經二三十年的發展，半導體工業已經成為台灣最重要的經濟支柱之一，隨著半導體工業的高度成長，明星產業背後所隱藏工業污染問題也日益受到重視。各界漸漸對空污排放提高標準，而對於運轉多年半導體廠區，既設製程尾氣處理設備如何...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Inspection and Re-creation a Friendly Environment for Air Pollution Reduction for 30-year-old Factory
30年老廠空污健檢減量與再造友善環境
文 | 魏君穎 | 新竹廠務一部 |
由於環境污染日趨惡化，加上近年來環保意識抬頭，各界對於污染管制紛紛提高標準，工廠廢氣的排放也受到關注。對企業而言，除了必須遵守空氣污染法規的要求外，如何在資源有限的情況下降低廢氣的排放量和改善防制設備發揮最大效益，...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Destruction efficiency promotes with LOW NOx Operational Parameters of Dual Rotor VOCs Process System for Green Manufacturing
綠色製造 - VOC雙轉輪系統處理效率提升與LOW NOx運行參數
文 | 盧人瑜 | 亞太廠務處 | 楊詠翔 | 台南廠務六部 |
雙轉輪VOC開始使用，目的為提高VOCs的處理效率，降低排放量以利空污減量，廠區內使用廠商分為D公司與J公司，單轉輪設計處理效率為95%，雙轉輪設計預計能到達99%以上處理效率，VOCs的排放量減少為單轉輪設計的1/5。...

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