TSMC 廠務季刊

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

文 | 江典剛 | 台南廠務處 | 夏瑋念 | 台南廠務處 | 黃冠諭 | 亞太廠務處 |

冷卻水塔(Cooling Tower)一直是各廠回收水(RCW)使用量最大的單元，其使用量(即蒸發量)與當下環境的溫度、濕度皆有關，而環境溫濕度又與季節(長期)、日夜(每天)有關，以現況Cooling tower固...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

文 | 楓祥儀 | 陳聖偉 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |

半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主，因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題，而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中，氨氣皆佔有一定排放量比例，而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

文 | 陳誠亮 | 國立台灣大學 | 李瑞元 | 國立台灣大學 | 洪詩雯 | 新廠設計部 |

This article aims to develop a general mathematical formulation for integrated design of inter-fab water ne...

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