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2016.12, Vol.24 / 新象新知
The Application of Dynamic Process Simulation to Semiconductor Facility Operation
談動態製程模擬技術在半導體廠廠務運轉的應用
文 | 蔡昀叡 | 300mm Fabs廠務處 | 鄭昭平 | 新廠規畫部 | 吳劉駒 | MYNAH Technologies, LLC |
本文介紹模擬技術的發展及應用現況，並說明如何透過動態製程模擬技術結合控制系統，來模擬半導體廠設備運轉特性及外在環境變化，建構仿真工廠以提供一個擬真的實戰訓練環境，協助廠務運轉人員快速累積知識與經驗，在面對異常事件或...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
Development and Application of Energy Conversion Factors (ECFs) Calculator of Fab Facility Systems
廠務能源轉換係數計算器之研究發展及應用
文 | 蔡耀文 | 林廸 | 胡石政 | 國立台北科技大學能源與冷凍空調工程系 |
製程機台的耗能除了本身直接的電力需求外，尚需考量廠務系統之能耗，SEMI S23定義了能源轉換係數為提供單位製程設施使用量所需之耗電量，透過廠務「能源轉換係數」（Energy Conversion Factor, ...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文
Information on the Internet KVM Infrastructure Applications for Facility Control System
廠務控制系統之資訊互聯網KVM架構應用
文 | 邱保仁 | 竹科廠務二部 |
廠務控制系統在工廠扮演著控制中心的角色，除了擔負著廠務系統穩定持續運轉及維持高供應品質的任務外，也需要確保環境與人員安全。本文主要探討為因應廠務組織調整後跨廠區值班需求，必須新增遠方操作功能，並以十二廠為例，討論選...

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