Regenerated carbon-Green consumerism
再生廢碳-綠色相伴
本研究使用回收系統之廢碳製成再生碳並以新碳為比照組進行H2O2去除率比對，以AWR及含高濃度H2O2的CWR系統進行測試，紀錄...
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System Design and Removal Strategy of PFAS from Semiconductor Wastewater
製程廢水中短鏈全氟化合物去除策略與設計規劃
半導體界近年積極開發工業再生水技術，將自身排放的工業廢水再製供前段製程重新使用，廢水中不易被水處理系統去除的短碳鏈全氟化合物，雖然台灣目前未有制訂法規管制排放濃度，但已開始被重視是否影響再生水水質。本研究探討多方文...
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Effluent Reclamation-Optimization in Operation of Process Pilot
工業再生水研發─ 回收模廠運轉最佳化
再生水模廠(AOP Pilot)設備於2015年11月導入晶圓工廠排放廢水，成功克服原水高濃度TOC，然處理流程複雜及運轉成本較高；我們完成高難度的晶圓廠排放廢水，接著最終目標是處理南科放流水，從中找出流程簡化且兼...
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Design and Experience Sharing for Acidic Waste Drain (O3) Reclaim to Ultrapure Water system
含臭氧酸鹼廢水回收至純水之設計與運轉分享
含臭氧酸鹼廢水為含臭氧的機台排放廢水，其為擴散及蝕刻機台之臭氧產生器與純水混和用來清洗晶圓上的微量有機物。透過排水水質量測及用途追蹤，發現其水質特性為高氧化性、低導電度，總有機碳濃度可達純水回收標準。然而臭氧氧化性...
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