TSMC 廠務季刊

2017.12, Vol.28 / 技術專文

文 | 簡伯恩 | 張志成 | 新廠工程管理部 |

隨著製程微型化演進，任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時，機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測，但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件，當產品有異常...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文

文 | 劉彥宏 | 南科廠務三部 |

製程儀控系統在工廠扮演著神經中樞與控制中心的地位，其中儀表擔負著各製程系統的眼睛，即時反應線上系統重要參數與品質數據，同時也肩負工廠系統安全與人員保護的重要任務。本文主旨在介紹廠內常用儀表，介紹溫度、壓力、液位與流...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

文 | 劉俊男 | 黃介然 | 新廠設計部 |

乙硼烷(B2H6, Diborane)為一種相當重要的半導體製程氣體，其具有高活性與劇毒性。鋼瓶內的B2H6即使未和其他物質接...

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2011.4, Vol.02 / 特別企劃

文 | 林學成 | 設計營建部 |

在半導體廠之運轉電費，由以往經驗來看，冰機系統佔總耗電量，高達14%之多，如圖1所示，故由冰機系統切入考量，可得到一定比重之節能成效。有鑑於此，tsmc評估既有系統架構之優缺點後，...

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