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2019.9, Vol.35 / 技術專文
RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber
中央洗滌塔排水 回收再利用改善空污排放
文 | 楓祥儀 | 陳聖偉 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |
半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主，因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題，而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中，氨氣皆佔有一定排放量比例，而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃
Green Concept of Wet Scrubber Design Development in tsmc
綠色思維下的濕式洗滌塔設計沿革
文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 楊宗敏 | 晃誼科技股份有限公司 |
面臨製程機台排氣量不斷增加、成分越來越複雜的挑戰下，我們必須對空氣污染防制設備進行改善。本文將針對台積電各十二吋廠洗滌塔的發展趨勢及所面臨之困境進行探討，以既設廠設計搭配學理說明，分析不同的設計因子對處理效率的影響...

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