TSMC 廠務季刊

2024.4, Ann.2023 / 技術專文

Sharing of Fab 12A Annual Maintenance Report and ACB Upgrade Experience

Fab 12A 年度維修報告與 ACB 升級經驗分享

文 | 黃志田 | 蔡秉璋 | 江茂宣 | 新竹廠務三部 | 王儒安 | 竹科廠務三部 |

F12A 廠包含 F12P12、F12P3、F12P45 等三個廠區，其中 F12P3 於 2023 年 3 月 ...

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2024.4, Ann.2023 / 技術專文

Sharing of Fab 15B Annual Maintenance Report and AAS System Negative Pressure Cabin Experience

Fab 15B 年度維修報告與機械主風管負壓艙經驗分享

文 | 陳宗傑 | 陳信任 |

2023 年 F15B 規劃兩次歲修，分別是 P5 執行機台停電歲修保養 ( 工廠停止生產 )、P7 執行 25% 高壓電力系統保養 ( 工廠持續生產 )。

2023 年 3 月 15 日，F1...

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2024.4, Ann.2023 / 技術專文

Sharing of Fab 18A Annual Maintenance Report and Working Hour Optimization Experience

Fab 18A 年度維修報告與工時優化經驗分享

文 | 李秋煌 | 陳彥博 | 胡家誠 |

F18A 為南科第一座 N5 先進製程廠區，其目前有 4 個 Phase(P1、P2、P3、P7)，並於 2018 啟用 F18P1。2023 年 F18P1/P2 規畫台積 N5 廠區第一次停電歲修 (2023 ...

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2023.3, Ann.2022 / 技術專文

Sharing of Fab12P4/5 Annual Maintenance Report and Management Experience

Fab12P4/5年度維修報告與管理經驗分享

文 | 蕭琨澄 | 王儒安 | 竹科廠務三部 | 康寧 |

F12P4/5本次於2022/11/01 進行全廠大 APM 執行 70%全廠停電電力設備保養，為維持30%機台電力備援及FAB環境，竹科廠務動員245工程師1,023廠商，並於18hrs 內準時成功完成 74 項...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Plan the construction of air pollution prevention equipment in the limited space of the factory area

成廠區有限空間的空污防治設備建置對策

文 | 曾柏凱 | 新竹廠務二部 |

隨著環保意識抬頭及空污法規的演進，台積電呼應前述，提出ESG 2050年淨零排放目標，老舊成廠區在空污排放系統架構上有著難以改善的硬傷，除了防治設備老舊及備源機制不完全造成停機保養困難，更是有不同種類排氣風管串接混...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Emissions Warning Mechanism of Local Scrubber

應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備氟氣排放預警機制

文 | 黃柏勛 | 林永璋 | 新廠設計部 |

台積電空氣污染防制設計採用「源頭分類、多段式處理」做法，除了依國家法規設置中央式空氣處理設備(CSC)外，同時更針對不同製程氣體特性增設高效率現址式空氣處理設備(LSC)，使排入大氣的污染物含量符合或優於政府規定。...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

Exhaust Damper Improvement, Development and Application in New Fab Construction

排氣系統風門型式發展與新建廠區之應用

文 | 姚文淙 | 十二廠六期專案 |

在廠務排氣系統的建置過程中，風門與風管為主要的構成元件。若以去年新建完成之十四廠四期廠區為例，整個排氣系統的建置總排氣量，約為3,000,000CMH，其中風管的材料使用總量，達到30,000平方公尺以上。若單就風...

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