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2018.6, Vol.30 / 技術專文
Research on IPA Chemical Filter Efficiency Improvement
談異丙醇化學濾網使用效率提升之研究
文 | 林瑞昆 | 竹科廠務三部 |
異丙醇(IPA)對於電化學電鍍(ECP)製程之晶邊良率具有極大的影響，ECP區域IPA主要來源為外氣空調箱(MAU)引入，汙染源來自於本身或鄰近廠區煙囪排放(約佔70%)，其次為化學研磨製程(CMP)機台洩漏或蝕刻...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文
Advanced Organic Treating Wastewater with Wastewater– Wastewater Treatment with Bio System
以廢水治廢水─ 以生物處理有機廢水
文 | 李仲弘 | 陳柏翊 | 中科廠務五部 |
台積公司廠務製程廢水分流確實，其優勢在於分流後，可規劃流程簡單且較小系統設計量，但也因此需添加更多化學品，例如酸、鹼廢水分流處理後，酸鹼廢水各自需添加化學藥劑進行中和。有鑑於此，我們希望尋找「以廢水治廢水」之機會點...

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金筆獎入圍
2016.9, Vol.23 / 技術專文
Treat Wastewater by Wastewater! Treatment of IPA and COD Wastewater by UV/AWD H2O2 Process
廢水處理廢水！以紫外光結合雙氧水 廢水程序處理異丙醇與化學需氧量廢水
文 | 謝文彬 | 中科六期新建工程專案 | 王世民 | 竹科廠務三部 |
本文測試目的為利用高級氧化程序處理廠內含IPA與COD有機廢水，測試中利用廠內含H2O2廢水當為水處理原料並結合UV催化系統所形成OH‧自由基處理廠內含高濃度有機廢水，經由測試結果IPA去除率達99.5%，COD和...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
Micro Contamination Prevention -Application of IPA Reduction in F12P6 ECP Area
微污染防治 - 十二廠六期電化學電鍍製程環境異丙醇減量之應用與探討
文 | 趙世閔 | 李懷宇 | 周家祿 | 竹科廠務三部 |
隨著半導體製程快速演進，氣態分子汙染物(AMC)對於半導體廠的製程良率有顯著影響，異丙醇(IPA)為常見之溶劑，普遍用於機台清潔與製程內晶圓清洗，已有許多案例證實IPA對於電化學電鍍（ECP）製程之晶邊良率具有極大...

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