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特殊技術 Special Technology 27 最新文章 熱門文章 按讚數
2012.10, Vol.08 / 新象新知
Recent Development of OLED ( Organic Light Emitting Diode)
可撓式OLED顯示器最新應用
文 | 林宥芯 | 新廠規劃部 |
近年來隨著科技進步，個人電腦、網路及資訊傳播的普遍化，顯示器成為了人機互動不可或缺的重要角色，而不斷進步的顯示技術更是帶動了顯示器產業跨躍式的發展。傳統ㄧ般的CRT螢幕對使用者來說，顯得厚重、佔體積，因此已逐漸的被...

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2012.7, Vol.07 / 技術專文
Decay Distance of Magnetic Field Emitted by Tools
機台產生的磁場其衰減強度與距離關係之探討
文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |
機台作業時會產生電磁波，為使機台彼此不受電磁波干擾，筆者即進行機台磁場強度的衰減距離研究，以便找出機台之間不受電磁波干擾的安全距離。除了實際測量並搭配理論來做擬合，並透過合理的參數來做物理理論擬合的解釋，結果發現機...

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2012.4, Vol.06 / 技術專文
Floor Vibration Assessment
樓板振動評估
文 | 陳錦村 | 廠務技術發展專案 |
The floor vibration control is very important not only to High-Tech manufacturing factory but also to other...

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2012.1, Vol.05 / 技術專文
Facility Seismic Design
設備的地震力設計考量
文 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司 |
本文主要在探討機電附屬設備地震力設計的法範與TSMC的設備耐震規範。一般而言，在建築物的使用期間，遭遇一次強烈地震使得主體結構損壞的機率可能只有2%，但是攸關半導體廠房機能的廠務與製程設備，卻可能在一次五到十年回歸...

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點閱 (74)
2012.1, Vol.05 / 技術專文
Introduction of LED, the Core Device of Solid State Lighting
淺介固態照明的核心元件：發光二極體(LED)
文 | 夏興國 | 台積固態照明磊晶研發處 |
固態照明已成今日綠產業之重心，而其中以發光二極體為整體技術之核心元件。 本文則試從技術發展史之觀點，基礎原理之說明，與基本製程之介紹來看此一核心技術。...

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點閱 (45)
2012.1, Vol.05 / 技術專文
Island Method Practice in F12P6 Project
島式支撐工法在十二廠六期 CUP/HPM 之應用實例
文 | 簡大為 | 互助營造股份有限公司 |
目前國內的營建工程規模已趨於大型化，於施工初期進行的開挖作業，其開挖面積隨之劇增，造成施工期間易受複雜的土壤性質、地下水或其它難以預測之外在因素所影響。開挖過程中，為了防止周圍地層崩塌，並確保工程所需作業空間與人員...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文
Passive EMI Shielding Approach for CDSEM
以被動屏蔽(passive shielding)方式解決CDSEM受低頻磁場干擾之案例
文 | 于淳 | 研究專案部 |
在第一期的新工季刊中，曾介紹關於電子束作業機台受低頻磁場干擾與防治的相關理論和方法，本期筆者將以在F12P4 跟微影設備工程師一同用被動屏蔽來解決受低頻磁場干擾的CD-SEM為例，與大家經驗分享。...

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點閱 (39)
金筆獎入圍
2011.4, Vol.02 / 特別企劃
EMI (Electromagnetic interference) Measurement and Improvement in Cleanroom – taking F12P4/P5 as an example
無塵室的EMI量測與汙染 - 以F12P4/P5為例
文 | 于淳 | 研究專案部 |
在現今高科技的廠房，一定會使用到需要電壓電流來操作的大量電機電子式機台，其內是由許多電子元件或感測器來控制機台作業，因此機台不可避免地就會受到電磁干擾EMI (EMI：electromagnetic interfe...

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2011.4, Vol.02 / 技術專文
Microseismic Spring Wafer Wagon Design for Vibration Improvement
創新型微震彈簧推車研發設計及震動改善
文 | 張智能 | 徐岳聖 | 黃俊銘 | 蕭博戎 | 唐炳順 | 朱良堃 | 三廠廠務部 |
針對本廠既有推車做不同類型參數實驗，包括孔洞板、實心地板、軟硬彈簧等震動試驗，以研究在各種不同的參數實驗下，推車於運送POD過程中分析Wafer震動及Wafer Notch旋轉偏移等問題做深入之探討。本研究分成實驗...

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2011.4, Vol.02 / 技術專文
A Ditopic Fluorescent Sensor for Potassium Fluoride
偵測氟化鉀之雙目標螢光感測器之研究
文 | 陳虹瑤 | 台灣大學環境工程系 | 許明皓 | 台灣大學環境工程系 | 吳怡亭 | 國立台灣大學化學工程系 | 林語騰 | 國立台灣大學土木工程系 | 黃正吉 | TSMC 製造技術中心 | 張陸滿 | 國立台灣大學土木工程系 | 林郁真 | 台灣大學環境工程系 | 林正芳 | 台灣大學環境工程系 |
添加的氟化鉀(KF)“接通”螢光感測器1 與感測器2，但添加氯化鉀(KCl) 和溴化鉀(KBr) 在螢光感測器 1 與感測器2 中卻無螢光反應。螢光反應同時也可以“關閉&rdqu...

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2011.1, Vol.01 / 技術專文
Introduction of ELF Magnetic Field Shielding
淺談極低頻磁場的防治 - 讓作業機台減少電磁波影響
文 | 于淳 | 計劃整合及研究專案部 PIRP |
今日消費性的科技產品隨著輕薄短小及節能減碳的要求，使得半導體的製程越縮越小，已邁入 28nm 的製程量產， 20nm 的製程也正積極的研發中。隨著製程的縮小，電磁波干擾 (EMI) 的問題也慢慢浮現，其中以極低頻磁...

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