TSMC 廠務季刊

2022.12, Vol.48 / 技術專文

COD Reduction Strategy and Biological System Operation Management in Advanced Process Plants

先進製程廠區放流水COD削減策略及生物系統運轉管理

文 | 吳尚興 | 林俊龍 | 魏仲君 | 台南廠務七部 |

隨半導體先進製程發展，晶圓乾燥使用的IPA(Isopropyl alcohol)用量大幅增加(N5約為N7製程的1.5倍)。同時，WET製程中單槽式晶圓濕式清洗機台占比增多，此類型機台排水量大且易造成IPA與其他種...

按讚

0

點閱 (75)

2020.12, Vol.40 / 新象新知

The Feasibility of Using UV254 to Replace TOC/COD Analyzer

水質監測以UV254取代TOC/COD分析儀可行性評估

文 | 張得威 | 王世民 | 竹科廠務五部 |

因應半導體製程日趨進步，傳統總有機碳(Total Organic Carbon, TOC)及化學需氧量(Chemical Oxygen Demand, COD)監測方式分析時間長，較難反映水質的快速變化，本文根據Beer...

按讚

0

點閱 (94)

2020.6, Vol.36 / 技術專文

Discussion and Practice of COD Reduction in Wastewater

外排廢水化學需氧量減量方法探討與實務

文 | 吳世霖 | 南科廠務五部 |

隨著製程技術持續推進，許多新的製程機台以及化學品首次導入，我們發現新建廠區有放流水之 COD 值偏高問題。為解決這個問題，我們一方面進行廠內 COD 污染源之追查，透過源頭分析及查找，發現 IPA 為廢水中 COD 之貢...

按讚

0

點閱 (60)

2016.9, Vol.23 / 技術專文

A Study on The Safety Defense of Silane System

矽甲烷供應系統安全防禦之實務探討

文 | 何重億 | 南科廠務二部 |

矽甲烷具有自燃之化學性質，矽甲烷供應系統各方面之安全防禦顯得格外重要，此物質已被許多供應商及使用者作為技術研究之主題，包含供應架構、鋼瓶結構、工安事件等，本文整合業界技術研究與實際運轉經驗，探討降低矽甲烷外洩之實務...

按讚

0

點閱 (131)

金筆獎入圍

2013.12, Vol.12 / 技術專文

Practice of Implementing BIM Technology in Office Operations Management

建築資訊模型技術於辦公室管理之導入實務

文 | 林志勇 | 賈儒慶 | 公共設施服務部 |

本文主要以台積電十二廠六期辦公大樓為例，以BIM導入台積電辦公大樓之營運管理規劃為主要目標，建立以物業管理整合應用為目的的建築資訊模型。探討內容包括模型圖庫建置、竣工模型檢核修正、配合現有管理系統整合規劃、模型精細...

按讚

0

點閱 (71)

2012.1, Vol.05 / 技術專文

Facility Seismic Design

設備的地震力設計考量

文 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司 |

本文主要在探討機電附屬設備地震力設計的法範與TSMC的設備耐震規範。一般而言，在建築物的使用期間，遭遇一次強烈地震使得主體結構損壞的機率可能只有2%，但是攸關半導體廠房機能的廠務與製程設備，卻可能在一次五到十年回歸...

按讚

0

點閱 (75)

文章分類

熱門關鍵詞