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2019.9, Vol.35 / 技術專文
Improvement of Removal Efficiency Using Reverse-direction Desorption in Zeolite Rotor
高溫逆脫附技術改善沸石濃縮轉輪去除效率
文 | 何大弘 | 竹科廠務一部 | 姚文淙 | 竹科廠務一部 | 謝振友 | 中科廠務三部 |
現今台積廠區均使用沸石轉輪濃縮系統作為主要揮發性有機物（VOCs）防制設備，其中沸石轉輪之吸附能力為處理效率之關鍵。而沸石轉輪藉由高溫脫附以及定期水洗兩種方式維持吸附能力。然而在長期使用後，沸石轉輪會因脫附溫度不均...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The Application of High-temperature Desorption for Honeycomb Zeolite Concentrator Treatment System in Semiconductor Fab Facility Systems
高溫脫附法應用於沸石轉輪處理效率改善之探討與驗證
文 | 陳仲祥 | 陳元昊 | 南科廠務一部 |
為了使揮發性有機物(VOC)處理設備保持良好的去除效率，例行保養(PM)是不可或缺的。然而，有些高沸點VOC是無法透過沸石轉輪清洗被清除，甚至隨著時間會有殘留於沸石轉輪的現象，迫使去除效率漸漸衰減至91%。因此，本...

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銀筆獎
2016.6, Vol.22 / 技術專文
Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction
排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維
文 | 錢立行 | 陳庭鈞 | 竹科廠務一部 |
本文主要探討半導體廠排氣中揮發性有機物處理設備─沸石濃縮轉輪系統之設計改善，將脫附用載流氣體從入口高濃度廢氣變更為脫附後乾淨空氣，嘗試以新思維降低揮發性有機物排放量，並針對轉輪後確實殘留高沸點VOCs進行實證，供後...

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