Vol.51 / 技術專文
Plan the construction of air pollution prevention equipment in the limited space of the factory area
成廠區有限空間的空污防治設備建置對策
隨著環保意識抬頭及空污法規的演進,台積電呼應前述,提出ESG 2050年淨零排放目標,老舊成廠區在空污排放系統架構上有著難以改善的硬傷,除了防治設備老舊及備源機制不完全造成停機保養困難,更是有不同種類排氣風管串接混...

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Vol.51 / 技術專文
Improvement Strategy and Implementation Effect of Mixed Air Emission in RD Fab
RD廠區空污混排改善策略與執行成效
RD Fab 先進製程研發致使製程不斷變化,2020 new chemical申請數較前幾年上升71%(全年120件),依F12B實驗運轉經驗制訂從源頭、現址式洗滌塔(Local Scrubber)至中央處理設備(...

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Vol.35 / 技術專文
Reduction Strategy for Sulfuric Acid Emission of Stack in Semiconductor Industry
半導體業煙道硫酸排放減量策略
在12吋晶圓廠中隨著產能不斷提升,排氣風量與硫酸使用量增加,硫酸排放總量逐漸受到主管機關的重視。以最新12吋晶圓廠為例,使用硫酸的最大來源是高溫硫酸製程機台及廠務桶槽,參考文獻研究顯示處理廢氣入口濃度越高洗滌塔處理...

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