TSMC 廠務季刊

2021.12, Vol.44 / 技術專文

Application of valve abnormally detected in gas cabinet

氣櫃閥件異常偵測應用

文 | 陳彥儒 | 孫愛迪 | 謝銘忠 | 台中廠務二部 |

特殊氣體供應系統(Special gas supply system, SGS)的穩定供應源自於氣櫃(Gas cabinet, GC)的落實管理，想要有效的管理氣櫃就必須了解氣櫃的操作流程及氣櫃PLC的控制邏輯。亞...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Operating Parameters Optimization of Chiller System through Big Data

大數據分析冰水供應系統操作參數最佳化設定

文 | 吳孝修 | 蔡宗原 | 竹科廠務二部 |

近年來廠務系統上的訊號源已收集至資料庫內，但這些資料以往只針對系統供應品質上去分析，鮮少對系統優化或者是節能運轉去探討，本專案採用i-EDA2 / SAS數據分析軟體，將冰水供應系統最佳壓力設定進行調整，此調整基準...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Machine Engineering Data Analysis Processing Technology

機台工程資料分析預先處理技術

文 | 簡伯恩 | 張志成 | 新廠工程管理部 |

隨著製程微型化演進，任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時，機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測，但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件，當產品有異常...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文

Facility General Meter Setup and Application

廠務常用儀表安裝與選用

文 | 劉彥宏 | 南科廠務三部 |

製程儀控系統在工廠扮演著神經中樞與控制中心的地位，其中儀表擔負著各製程系統的眼睛，即時反應線上系統重要參數與品質數據，同時也肩負工廠系統安全與人員保護的重要任務。本文主旨在介紹廠內常用儀表，介紹溫度、壓力、液位與流...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Constant Pressure Feedback Control Method for Low Pressure Vapor Gas Distribution System

低蒸氣壓氣體之壓力恆定迴授控制應用

文 | 黃介然 | 新廠設計部 | 許駿烽 | 十二廠務工程專案 |

低蒸氣壓氣體供應系統，會因相位變化造成供給壓力不足或不穩定，且以機械式調壓閥調整壓力，調壓閥之機械壓損特性亦會造成供應壓力之不穩定。本文探討此一現象之發生原因，並應用壓力恆定迴授控制改善低蒸氣壓氣體之供應。...

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2011.4, Vol.02 / 特別企劃

Energy Savings in Semiconductor Fabs

半導體廠房之節約能源策略

文 | Andreas Neuber | Applied Materials, Inc. |

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