TSMC 廠務季刊

2022.3, Vol.45 / 技術專文

Optimization of Intelligence application efficiency_Real-time analysis for exhaust sub-main with tool FDC

智能應用效率最佳化_Exhaust sub-main自動連結設備FDC即時分析系統

文 | 吳聖儀 | 台南廠務六部 |

300mm廠務組織合併後，集合眾專家所長推出了廠務資訊整合平台-OneFAC，藉此輔助廠務運轉管理，也因系統整合，廠務有平台可獲取各廠的廠務相關資訊，可說廠務運轉管理已邁向成熟階段。然而對廠內資訊的呈現仍不夠即時，...

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2021.03, Vol.41 / 技術專文

Seismic Isolation Engineering of Semiconductor Process Tools

半導體製程機台隔震工程實務

文 | 吳家榮 | 郭昺辰 | 新廠工程管理部 |

依據歷史地震資料顯示，半導體製程機台受地震影響最嚴重的是爐管機台，晶片也是在爐管機台內損失最嚴重，因此保護爐管機台與爐管機台內的晶片就成為對抗地震的重點目標。本文針對爐管機台隔震工程實務，做了一系列深入的探討，配合國家地...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文

Management of Waste Chemical from Advanced Process Equipment

先進製程設備機台廢酸排放站前管理

文 | 陳政揚 | 竹科廠務五部 |

半導體先進製程不斷演進，化學品使用越多元，相對設備機台排放的廢酸越複雜，發生混排的機會越高。本篇研究針對設備廢酸站前排放區分兩大主題 : ①管理層面 ②廠務系統強化，並以某先進製程廠廢液IPA含酸為例，裝機前NTCC及S...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文

To Etablish a Energy Management System for TSMC Semiconduct Manufacturing Process Tools

建構台積電製程機台能源管理系統

文 | 李昇修 | 南科廠務三部 |

隨著半導體製程演進，不同世代的製程機台耗能行為也會因製程需求產生不同。透過本次研究目的在發展一個能一窺各種不同功能製程型式的用電行為，並發展一個製程機台耗能管理系統，本文也將對建構製程機台能源管理系統所需之低成本/低能耗...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Recycled Material Activation of Disconnection Tool

拆移機資產活化再利用

文 | 陳仕洲 | 新廠工程管理部 |

近年半導體製程演進快速，調整機台配置(layout)以滿足產能需求已成常態，加上廠區無塵室(fab)空間有限，進而衍生大量拆移機發生，統計2016年1月至2017年12月，新竹及台南廠區約2,000多台拆移機，其中...

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2016.12, Vol.24 / 技術專文

On-site Earthquake Early Warning System Set Up and Performance Verification

現地型地震預警系統的設置實務與績效驗證

文 | 吳信達 | 陳錦村 | 新廠設計部 |

本文將先簡單介紹地震預警系統的發展歷史及目前的應用層面，然後再詳細說明地震預警系統的理論及種類，並比較各系統硬體及運算邏輯的差異。在讀者已有基本的地震預警知識後，才進入到本文的主題「現地型地震預警系統的設置實務與績...

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2016.12, Vol.24 / 技術專文

The Development and Application of Hookup Hierarchy System

裝機工程階層式系統的發展與應用

文 | 朱慧明 | 廠務升級專案 | 林永斌 | 新廠設計部 |

新機台裝機時，需依據製程生產機台的需求進行各種廠務供應系統二次配管的設置，為符合母廠的相同標準，管路配置被要求與標準機台進行比對符合相同的標準；本篇在此將闡述藉由階梯式的表格建立明確地將管路配置的上下游階層關係，應...

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2015.3, Vol.17 / 技術專文

Database Enhancement of the Tools Utility Requirement for New Fab Project

新建工程機台需求之資料庫進階強化計畫

文 | 朱慧明 | 新廠規劃部 |

新廠的設計，是依製程生產機台的需求（Tools Utility Requirement）及位置（Layout）進行各種廠務供應系統之設置與規劃；本篇將闡述藉由 IDI (Initial Design Integra...

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2014.3, Vol.13 / 技術專文

Initial Design Integration Enhancement for New Fab Planning Application

新廠規劃的前導者 - IDI系統再進化

文 | 朱慧明 | 新廠規劃部 | 吳瑛期 | 新廠規劃部 |

新建廠房於規劃設計時，必須依據生產機台的需求 (Tools Utility Requirement) 進行各種廠務供應系統規劃與建造，各系統容量規劃及管路配置長度是影響建廠成本的關鍵因素；本篇將闡述建立生產機台需求...

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