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2022.9, Vol.47 / 技術專文
Challenges and breakthrough of 200mm Fab system expansion-example by VOC/VEX system expansion
200mm廠區系統擴充面臨考驗與突破-以VOC/VEX系統擴充為例
文 | 李振中 | 竹科廠務二部 |
三廠原始空污處理系統無設計備援機制，各區域僅要求維持負壓，後期為維持負壓，擴充時僅考慮管路串並聯混接，且AEX/VEX為法規加嚴後才進行擴充。為在不影響無塵室運作下擴充系統卻導致擴充後系統過於複雜，增加系統穩定運轉困難度...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文
RD Fab Outside Air AMC Improvement-Analyzation and Verification of Optimizing Operating Parameters of Zeolite Rotor Concentrator
RD Fab外氣AMC改善-沸石濃縮轉輪運轉參數最佳化之分析與驗證
文 | 陳建豪 | 新竹廠務四部 | 詹資盛 | 新竹廠務六部 | 張貴琳 | 新竹廠務四部 |
隨著半導體製程的演進，氣態分子汙染物(Airborne Molecular Contamination, AMC)對於半導體製程良率的影響愈來愈顯著，並有許多案例證實其中的低分子量汙染物IPA對於B.S.(Barrier...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文
The Challenge of Semiconductor VOCs Exhaust Treatment System & Innovation of High Removal Efficiency
半導體業揮發性有機物高效率尾氣處理系統的設計挑戰與創新
文 | 楊詠翔 | 新廠工程管理部 |
由於半導體製造技術日趨複雜、環保意識抬頭，讓空污排放的議題成為輿論關注的焦點。目前公司所採用的沸石轉輪搭配焚化系統已具備可接受的處理效率及高可靠度之特點，也是目前業界主要的VOCs 處理技術。在面對空污排放的要求越...

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銀筆獎
2016.6, Vol.22 / 技術專文
Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction
排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維
文 | 錢立行 | 陳庭鈞 | 竹科廠務一部 |
本文主要探討半導體廠排氣中揮發性有機物處理設備─沸石濃縮轉輪系統之設計改善，將脫附用載流氣體從入口高濃度廢氣變更為脫附後乾淨空氣，嘗試以新思維降低揮發性有機物排放量，並針對轉輪後確實殘留高沸點VOCs進行實證，供後...

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