TSMC 廠務季刊

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Improving the Removal Efficiency of Particulate Matters

固態污染物_去除效率精進改善

文 | 吳俊賢 | 台中廠務三部 | 劉冠宏 | 十五B廠工安衛生部 |

F15B 空污排放標準除須符合半導體製造業相關法規外，亦須符合環境影響評估法及科管局之核定總量。因 2021年產能增量 30%，推估硫酸、氫氟酸、鹽酸排放總量會超過環評及科管局限值。本研究於不影響產能之條件下，將現...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Aerosol Reduction Using Depth-filtration Technology in Exhaust System

廢氣中氣膠微粒深度淨化處理技術

文 | 王鄧安 | 中科廠務三部 | 陳博政 | 南科廠務六部 |

半導體製程產生之酸鹼廢氣經化學反應為鹽類固體，分散在空氣中成為懸浮微粒，造成排氣煙囪產生煙霧現象，而引起健康及環保問題。本研究運用高度密合纖維材料構成之深度淨化裝置與現址式洗滌塔設備串聯，針對酸槽之機台尾氣進行氣膠...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Wet Cyclone Participator of PM2.5 Reduction in Local Scrubber

應用濕式旋風集塵器於製程尾氣處理設備改善細懸浮微粒研究

文 | 張聖杰 | 中科廠務一部 |

PM2.5空氣污染與健康危害之議題近年開始受到重視，為因應民眾對環境品質要求提升的期望，本研究探討目前半導體業界粒狀物防制技術應用，以及製程尾氣處理設備(Local Scrubber,LSC)後端酸性排風管所產生阻...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Tool Exhaust HEPA Retrofit in Particulate Matter Reduction

高效濾網於機台排氣粒狀物減量之運用

文 | 陳昭文 | 中科廠務三部 | 吳曜安 | 新廠工程管理部 |

近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2018年7月1日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費，因應粒狀污染物減量趨勢，各廠需積極進行白煙粒狀物改善。目前先進製程的粒狀污染物排...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

The Control Mechanism for Hazardous Air Pollutants

有害空氣污染物防制機制

文 | 林宗標 | 江維捷 | 林意雄 | 南科廠務一部 |

有害空氣污染物包括VOCs、多環芳香烴化合物、重金屬及戴奧辛等。有害空氣污染物污染來源繁雜，其中多數可經過接觸、呼吸等方式危害國民健康安全。職業安全衛生與動物實驗均顯示，有害空氣污染物對人類具有致癌性、致突變性與致...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Improvement of White Smoke and H2SO4 Particle from Stack

煙囪白煙及硫酸微粒防制改善

文 | 洪民翰 | 南科廠務四部 | 鍾善昌 | 南科廠務一部 |

南科十四廠五期於2012年5月開始投入量產，隨著新製程開發也衍生出前所未見的問題與挑戰，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出煙道排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾，既有的廢氣濕式洗滌塔與水渦流機已無法妥善處理白煙以及...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Application of Exhaust Shunting Retrofit in Particulate Matter Reduction

排氣分流改造應用於粒狀物減量

文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |

PM2.5空氣污染與健康危害之議題開始受到重視，近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2017年1月1日起各縣市列為三級空氣污染防制區，面對未來將進行總量管制及排放物種削減之趨勢，各廠需進行白煙粒狀物改善。目...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Air Pollution Control Strategy for Next Generation Fab

新世代廠房的空氣汙染防制

文 | 吳曜安 | 劉子銘 | 中科廠務三部 |

台積公司最新世代的晶圓廠房座落於中科擴建區，為因應日益嚴峻的環保法規及民眾對環境品質要求提升的期望，新廠在空氣汙染防治部分，導入最先進的技術與設備，包括：中央洗滌塔水力薄膜、排放源導入現址型洗滌塔、水霧系統及HEP...

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2017.6, Vol.26 / 新象新知

Removal Efficiency and Safety Assessment of Wet Electrostatic Precipitator Destruction for Total Suspended Particulate

濕式靜電集塵對粒狀污染物的處理評估與安全分析

文 | 楊詠翔 | 南科廠務四部 |

靜電集塵器具備高處理效率、高可靠度、低壓力損失、低耗能、無壓力波動、可連續運轉的特點。因此，靜電集塵器廣泛地被一般工業界所應用在改善空氣污染排放。然而，傳統乾式靜電集塵器有以下問題：粉塵沉積於集塵板表面與極線上造成...

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