Vol.45 / 技術專文
Inspection and Re-creation a Friendly Environment for Air Pollution Reduction for 30-year-old Factory
30年老廠空污健檢減量與再造友善環境
由於環境污染日趨惡化,加上近年來環保意識抬頭,各界對於污染管制紛紛提高標準,工廠廢氣的排放也受到關注。對企業而言,除了必須遵守空氣污染法規的要求外,如何在資源有限的情況下降低廢氣的排放量和改善防制設備發揮最大效益,...

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Vol.35 / 技術專文
RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber
中央洗滌塔排水 回收再利用改善空污排放
半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主,因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題,而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中,氨氣皆佔有一定排放量比例,而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

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Vol.26 / 技術專文
Central Scrubber Improvement Approaches
濕式洗滌塔宿疾改善對策
本文主要探討因應半導體廠氣體特性,將既有廠內排氣中酸鹼處理設備-中央洗滌塔進行改善,嘗試以新思維改善半導體廠排氣中矽微粒堵塞拉西環、菌類生長及因污泥堆積底部而須進行冗長保養程序之中央洗滌塔宿疾,並針對未攔截水量、塔...

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