TSMC 廠務季刊

2022.12, Vol.48 / 技術專文

Find the voice in the extreme environment-application of Industrial Acoustic Imager in foundry

在極限環境中看見你所未聞之物-工業聲學顯像儀實務應用

文 | 張謙獻 | 新竹廠務四部 |

廠務工程師的專業職責在於安全的供應晶圓廠區設備的一切所需，身為工廠的安全守護第一線，於廠區擁有數以千計的機台/附屬機台需要進行監控、巡檢，如何在短時間內有效地找出機台問題點是很大的挑戰。對於這項挑戰，本篇使用工業聲學顯像...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

IOT Technology Is Applied To The FFU Speed Control Automatically For The Evenly Temperature Of The Clean Room

IOT技術應用於FFU轉速自動化調整無塵室溫度均勻分布

文 | 蕭睿呈 | 台南廠務六部 |

近年來物聯網技術發展越趨成熟，與半導體產業相輔相成，電晶體到了21世紀，製程已達到奈米等級，大幅降低功耗，而低功耗設計正是物聯網中的感測器可否被廣泛運用的關鍵因素，因此半導體技術的進步是促成物聯網快速發展的推手，也...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文

The Strategy of the Inspection AGV Apply in Facility Management

AGV巡檢應用於廠務管理之策略

文 | 張丁興 | 中科廠務一部 |

近年AGV(自動搬運車)的運用日廣，與AI(人工智能)的成熟發展，使得 AGV在廠務巡檢與其它的應用，成為廠務提昇效能與深化管理的重要趨勢。如何應用AGV在巡檢中協助或取代工程師的工作，更一步在廠務工程管理上的安全判...

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2019.9, Vol.35 / 新象新知

Combined Inspection Robot and AI monitoring for Cleanroom Quality Control

自動巡檢結合智慧監控應用於無塵室空氣品質量測

文 | 蕭睿呈 | 南科廠務一部 | 林安祺 | 智能廠務管理課 | 朱晃民 | 南科廠務一部 |

半導體產業蓬勃發展，因此對於無塵室內的溫溼度、氣態分子污染物 (AMC)等生產環境品質的控管越趨嚴格，現階段以自動分析儀器並拉設採樣管對固定位置進行AMC監控，並輔以人力至現場進行巡檢。隨著晶圓生產廠區規模越趨龐大...

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2018.3, Vol.29 / 新象新知

Dependable Companion Robots for Daily Inspection

談巡檢機器人於廠務運轉之應用

文 | 余宗賢 | 張書豪 | 中科廠務一部 |

廠務設備數量龐大且遍布整個廠區，僅靠傳統人力巡檢的管理模式，已無法完整涵蓋現今的工廠運作，當廠區規模為超大晶圓廠(GigaFAB)，更是需要投入大量人力；為此，導入巡檢機器人於廠房設備之日常運作，並針對廠區水、電、...

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2013.12, Vol.12 / 技術專文

Applications of BIM Technology in Facility Inspection Management

建築資訊模型技術於巡檢管理之應用

文 | 李柏璁 | 林永祥 | 公共設施服務部 |

近年來建築資訊模型(Building Information Modeling, BIM)的興起，已逐步的推廣到如何應用於營運維護管理。公共設施服務部（Public Utilities Service Depart...

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