TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

文 | 林俊凱 | 先進封裝廠務一部 |

隨著半導體製程發展，製程用水日益增多，如何有效將機台排水適當分流並利用水回收技術進行廢水回收成為廠務重要課題。近年來水處理技術不斷發展，實廠應用EDR/BWRO/蒸發罐/結晶罐等技術達成零排放目標，但近年全球公司注...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

文 | 蔡宇軒 | 何顯利 | 新廠設計部 |

半導體界近年積極開發工業再生水技術，將自身排放的工業廢水再製供前段製程重新使用，廢水中不易被水處理系統去除的短碳鏈全氟化合物，雖然台灣目前未有制訂法規管制排放濃度，但已開始被重視是否影響再生水水質。本研究探討多方文...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文

文 | 陳國蔚 | 中科廠務二部 |

降低環境污染的議題是各國致力追求的目標。從2015年12月國內友廠於新聞發佈製程廢水零排放開始，零排變成各行各業所討論的標竿，但零排放需付出更多的電能，對於環境不見得是友善。本文透過分析業界零排放的重要技術(MBR...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

文 | 傅正貴 | 鄭守義 | 十四廠七期新建工程專案 |

隨著半導體製程日漸精密，產生的廢水有多元及複雜化的趨勢，加上環境保護意識抬頭，建立高品質之廢水處理系統就相對重要，本篇文章首先分析歷年來新建廠施工品質缺失及分類，進而找出可行及有效的改善對策，從『人、機、料、法』四...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

The extraction of ammonia using membrane contactors provides several advantages in solving a common problem...

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