TSMC 廠務季刊

2022.12, Vol.48 / 技術專文

Management Of Facility Water System Operation for Fast Ramping Up

因應新廠快速擴產下的水系統運轉管理心法

文 | 林志剛 | 台南廠務九部 |

近年新廠快速擴展，於2021年達到前所未見的高峰(F12P8, F18P4/P5, AP2C, AP06)，平均每90天完成一座FAB。因應裝機時程緊湊，整體工期需較以往縮減6~9個月，主要挑戰如下 : ①缺工缺料 : ...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Artificial Intelligence of Energy Saving Deployment in Chiller System

人工智慧應用於冰水系統節能技術探討

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 | 蔡昆憲 | 製造技術中心 |

台積電運用人工智慧和大數據分析將製程最佳化，應用此精神追求冰水系統效能最佳化。2017年應用大數據分析及結合冰水系統找到全系統最佳效能運轉機制，成功開發業界第一個冰水系統最佳化節能控制系統(正負2度C)，但因機台管...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System

正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 |

在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文

Design and Experience Sharing for Acidic Waste Drain (O3) Reclaim to Ultrapure Water system

含臭氧酸鹼廢水回收至純水之設計與運轉分享

文 | 楊淵超 | 溫士賓 | 竹科廠務一部 |

含臭氧酸鹼廢水為含臭氧的機台排放廢水，其為擴散及蝕刻機台之臭氧產生器與純水混和用來清洗晶圓上的微量有機物。透過排水水質量測及用途追蹤，發現其水質特性為高氧化性、低導電度，總有機碳濃度可達純水回收標準。然而臭氧氧化性...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

A New Perspective Heat Recovery - Total Heat Recovery and War Against Cold

全新角度檢視水側熱回收 - 全熱回收抗寒大作戰

文 | 蘇泓霖 | 鍾善昌 | 南科廠務四部 |

目前廠內35℃溫水熱源使用12℃冰機冷卻水出水溫度供應，在無塵室低負載或者極劣氣候-寒流狀態下，因已無熱能再被12℃冰機吸收，會直接影響35℃溫水溫度下降，間接影響到無塵室溫、溼度控制。因此本文提出新運轉手法再進化...

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2014.3, Vol.13 / 技術專文

Integration Analysis and Performance of Stormwater Management Practices and Drainage Systems

廠區暴雨管理與排水系統之整合分析與績效

文 | 張登勝 | 十四A廠製造三部 | 莊雅鈞 | 國立成功大學 | 張行道 | 國立成功大學 |

本研究整合分析新建廠區之暴雨管理與排水系統。先經由國內外文獻回顧，了解降雨強度與排水規劃間之關聯，並整理暴雨管理的種類及做法，然後了解廠區綠地、花園等景觀設計，計算實際排水系統與景觀設施保水量。研究發現，新建廠區...

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2013.9, Vol.11 / 技術專文

Utilize Prefabricated Thermal-Filler Module in Cooling Tower Installation

冷却水塔散熱材填料預製模組化方案探討

文 | 陳正賢 | 十四B廠廠務部 | 葉國安 | 新廠營建部 |

一套完整冷却水塔是由動力系統、水塔結構、散熱材填料、擋水器、散水系統和水槽所組成。根據所謂的80/20的趨勢或原則，針對安裝之工法及工時改善分析，改善後工期縮短效益達到33.9%。本文將其過程與相關管理整理供同仁參...

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2012.7, Vol.07 / 特別企劃

Innovative Air Condition Chilled Water System Multi-Core Concept Implementation of Energy Efficient Design and Operational Optimization

創新型空調冰水系統多核心分工節能設計及運轉最佳化

文 | 張智能 | 徐岳聖 | 黃俊銘 | 蕭博戎 | 唐炳順 | 朱良堃 | 胡毓堂 | 吳孝修 | 三廠廠務部 |

本研究以逆向思考突破傳統舊有節能思維，以創新方法新技術之“多核心分工節能最佳化模式”運轉，亦即依不同天候條件及空調負載變化需求，各系統做最適化相互匹配及多核心分工變頻運轉，使其運轉處於最佳狀...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

Innovative Green Design of Inter-Fab Water Reuse Networks

創新綠色廠房跨廠區回收水網路節水構思

文 | 陳誠亮 | 國立台灣大學 | 李瑞元 | 國立台灣大學 | 洪詩雯 | 新廠設計部 |

This article aims to develop a general mathematical formulation for integrated design of inter-fab water ne...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

Using Welding Parameters, Empirical Rules and Critical Path Method to Manage the Installation of PVDF/PP Piping System in a UPW System

利用系統化的施工數據及要徑法，管理純水系統中PP及PVDF配管工程

文 | 丁瑞華 | 十二廠六期專案 |

利用系統化的施工數據分析及專案管理模式，管控純水系統專案中大量安裝之聚偏二氟乙烯管線 (polyvinylidene fluoride; PVDF) 及聚丙烯 (polypropylene; PP) 管線工程，使能...

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