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2022.12, Vol.48 / 技術專文
The Strategies and Risk Controls of Tainan Science Park Reclaimed Water Implemented in T-Site TSMC.
南科再生水導入規劃及風險控管對策
文 | 賴人暐 | 劉柏青 | 台南廠務三部 |
台積公司為實現綠色製造，與政府合作建立台積電南科再生水廠，其水體主要來源組成為民生污水與工業廢水回收再利用。為了能夠成功導入製程用水取代自來水，且不影響工廠運轉及晶圓製造，本文以與再生水廠簽訂之21項合約水質為標準...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
Eco-Industrial Parks(EIP)-The Planning, Design, and Challenge for Taichung Zero Waste Manufacturing Center
台中零廢製造中心設計規劃實務
文 | 鄭凱倫 | 台中廠務處 |
台積電產能持續擴充，廢棄物產出量亦同步攀升，如公司ESG報告所揭露委外廢棄物總量由2016年約30萬噸/年，至2020年已增長至55萬噸/年的水準，依公司產能規劃預估至2025年廢棄物委外將高達100萬噸/年以上。...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文
The Breakthrough in the Spatial Location of Local Scrubber
8吋成廠區在LSC拆裝的空間位置突破 - 以8廠為例
文 | 曾能駿 | 李家維 | 謝穎至 | 新竹廠務一部 |
F8從世大建廠之初運轉至今已超過20年，隨著半導體產業日新月異及製程的進步，產能需求銳不可擋，如何在有限的空間把機台安裝效率最大化已成為製造生產端、設備機台端與廠務運轉端最大挑戰。本文旨在分享及介紹F8拆裝機過程的規劃，...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文
Study on Facility Organization and Operation Methodology in RD FAB
論研發廠廠務組織的規劃與運作模式
文 | 尤國男 | 竹科廠務五部 |
廠務組織承擔工廠永續營運的基礎，設計規劃新廠區並為公司提供穩定和維護良好 的運營環境。其中研發廠廠務總是在新製程開發階段與RD組織密切合作，一方面參 與製程問題改善，另一方面解決新製程衍生的空污、水污問題等。同時把這些累...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文
To investigate the Challenge of AAS Systems in tsmc 8"Semiconductor Fab
探討台積電八吋晶圓廠空污處理系統的挑戰
文 | 連上舜 | 竹科廠務二部 |
隨著台灣歷經了多次的空氣污染防制法的修訂與政策變遷，建置時的空污處理設備效率不彰是許多老廠正面臨的問題。如何持續精進空污處理設備以達到公司綠色製造，永續經營的理念是關鍵。本文以台積電首座八吋晶圓製造廠三廠為例，運用KT決...

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