TSMC 廠務季刊

2022.12, Vol.48 / 技術專文

文 | 林力雋 | 台中廠務二部 |

目前tsmc各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中之過氧化氫，反應副產物氯氣再藉由尾氣處理系統去除。因鹽酸於低濃度硫酸中溶解度較大之特性，因此鹽酸法運用於低濃度硫酸處理時，不易形成氯氣，導致再生硫酸中氯離子殘留濃度偏高；進而影響氨氮...

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2018.6, Vol.30 / 新象新知

文 | 謝曜謙 | 竹科廠務一部 | 張木彬 | 國立中央大學 |

本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...

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2014.6, Vol.14 / 新象新知

超純水系統因紫外光的照射會導致內含有10～40μg/L的雙氧水，另雙氧水處於超純水酸性環境中會加速銅腐蝕的行為。目前發現藉由鈀觸媒陰離子樹脂(Palladium-loaded monolithic anion...

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2011.1, Vol.01 / 技術專文

文 | 林語騰 | 國立台灣大學土木工程系 | 吳怡亭 | 國立台灣大學化學工程系 | 許明皓 | 台灣大學環境工程系 | 陳虹瑤 | 台灣大學環境工程系 | 黃正吉 | 計劃整合及研究專案部 PIRP | 吳紀聖 | 國立台灣大學化學工程系 | 張陸滿 | 國立台灣大學土木工程系 |

本研究將凝態的 TiO2 利用超音波原子化器轉換成微霧滴，在不同的條件下對氣態甲苯的光觸媒降解之研究，在 365nm 的 UV 光輻射下，甲苯在光觸媒 TiO2 微霧滴的...

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