TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

文 | 林冠宇 | 新竹廠務八部 | 王建翔 | 新竹廠務八部 | 陳宜樂 | 先進封裝廠務一部 |

廢硫酸回收系統(Waste Sulfuric acid recycling system)有其運轉規範要求，針對新建廠初期即面臨廢硫酸濃度過高、雙氧水(Hydrogen peroxide)濃度過低之狀況，若採用現況...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文

文 | 吳世霖 | 綠色製造部 |

目前台積電各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中的雙氧水後回用於氨氮廢水處理等系統，本文針對既有鹽酸法所衍生之含氯物質(氯氣、氯離子)之腐蝕、殘留等問題作一探討和研究後，提出新的處理技術-硝酸法，並透過實驗室以及模廠兩種不同等...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

文 | 林力雋 | 台中廠務二部 |

目前tsmc各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中之過氧化氫，反應副產物氯氣再藉由尾氣處理系統去除。因鹽酸於低濃度硫酸中溶解度較大之特性，因此鹽酸法運用於低濃度硫酸處理時，不易形成氯氣，導致再生硫酸中氯離子殘留濃度偏高；進而影響氨氮...

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2011.1, Vol.01 / 技術專文

文 | 林語騰 | 國立台灣大學土木工程系 | 吳怡亭 | 國立台灣大學化學工程系 | 許明皓 | 台灣大學環境工程系 | 陳虹瑤 | 台灣大學環境工程系 | 黃正吉 | 計劃整合及研究專案部 PIRP | 吳紀聖 | 國立台灣大學化學工程系 | 張陸滿 | 國立台灣大學土木工程系 |

本研究將凝態的 TiO2 利用超音波原子化器轉換成微霧滴，在不同的條件下對氣態甲苯的光觸媒降解之研究，在 365nm 的 UV 光輻射下，甲苯在光觸媒 TiO2 微霧滴的...

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