Vol.44 / 技術專文
Decreasing COD concentration of effluent by increasing efficiency of Bio-System
實現綠色製造-增進生物系統處理效率達到放流COD減量
隨著半導體製程的精進,晶圓製程用於防倒線及除水痕異丙醇(IPA)的使用量逐漸上升,N7世代IPA使用量已為N16世代之6倍,在已可觸及的N2世代,IPA用量更可達N16之16倍。對於放流水中化學需氧量濃度,如何能低...

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Vol.40 / 技術專文
Improvement and practice of wastewater biological treatment system operation
廢水生物處理系統運轉精進與實務
隨著半導體製程技術演進,製程機台使用的有機化學品用量大增,且單槽式晶圓濕式清洗機台數量增多,此型式機台排水有混排狀況,因此先進製程廠區面臨廢水排放化學需氧量(Chemical Oxygen Demand, COD)以及氨...

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Vol.36 / 技術專文
Discussion and Practice of COD Reduction in Wastewater
外排廢水化學需氧量減量方法探討與實務
隨著製程技術持續推進,許多新的製程機台以及化學品首次導入,我們發現新建廠區有放流水之 COD 值偏高問題。為解決這個問題,我們一方面進行廠內 COD 污染源之追查,透過源頭分析及查找,發現 IPA 為廢水中 COD 之貢...

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