TSMC 廠務季刊

2022.3, Vol.45 / 技術專文

文 | 楊映茹 | 台南廠務四部 | 鄭詠丞 | 亞太廠務處 |

因應環保署新增半導體煙道有害空氣汙染物排放限值，廠內離子植入使用之砷化氫經處理後產生之砷及其化合物屬於公告物種之一，公司除需符合法規也有責任降低砷及其化合物之排放量。

解析F14B歷年煙囪檢測砷...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

文 | 楊詠翔 | 新廠工程管理部 |

由於半導體製造技術日趨複雜、環保意識抬頭，讓空污排放的議題成為輿論關注的焦點。目前公司所採用的沸石轉輪搭配焚化系統已具備可接受的處理效率及高可靠度之特點，也是目前業界主要的VOCs 處理技術。在面對空污排放的要求越...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

文 | 林宗標 | 江維捷 | 林意雄 | 南科廠務一部 |

有害空氣污染物包括VOCs、多環芳香烴化合物、重金屬及戴奧辛等。有害空氣污染物污染來源繁雜，其中多數可經過接觸、呼吸等方式危害國民健康安全。職業安全衛生與動物實驗均顯示，有害空氣污染物對人類具有致癌性、致突變性與致...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

文 | 吳博哲 | 中科廠務一部 | 吳曜安 | 中科廠務三部 |

本文主要說明煙囪連續監測採樣系統的建構緣由及目的，探討此系統與手動採樣方法的優缺點，並與檢測公司使用之標準手法做比較。初步結果顯示由連續監測結果可發現，無機酸及氨隨時間的進行有明顯的變動，可見本採樣系統能及時的反應...

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2017.6, Vol.26 / 新象新知

文 | 蔡俊鴻 | 國立成功大學環境工程學系 |

空氣污染議題近年已成為臺灣社會關注之環境議題，引起民眾對健康與生活品質疑慮，亦造成社會經濟與產業發展之困擾。本文探討臺灣地區空氣品質變化特徵，介紹國內推動空氣污染防制策略沿革暨管制政策進展，亦針對科學工業園區排放空...

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