TSMC 廠務季刊

2022.3, Vol.45 / 技術專文

IOT Technology Is Applied To The FFU Speed Control Automatically For The Evenly Temperature Of The Clean Room

IOT技術應用於FFU轉速自動化調整無塵室溫度均勻分布

文 | 蕭睿呈 | 台南廠務六部 |

近年來物聯網技術發展越趨成熟，與半導體產業相輔相成，電晶體到了21世紀，製程已達到奈米等級，大幅降低功耗，而低功耗設計正是物聯網中的感測器可否被廣泛運用的關鍵因素，因此半導體技術的進步是促成物聯網快速發展的推手，也...

按讚

0

點閱 (27)

2021.9, Vol.43 / 技術專文

The Development and the Future Strategy of Smart Facility

廠務智慧化進展與未來發展策略

文 | 林安祺 | 廠務技術發展部 |

從德國政府提出工業4.0高科技計劃開始，智慧工廠、智慧製造成為各國最近幾年來最耳熟能詳的口號與發展目標，各大公司無不調整內部發展策略，以期在技術與組織發展能夠跟上這一波科技發展潮流，提升競爭力並達成永續經營方針。隨...

按讚

0

點閱 (59)

2020.9, Vol.39 / 技術專文

Intelligent monitoring Method in AMC is applied to Litho Lens for early pollution prevention and filter efficiency detection mechanism

AMC智能監控應用於黃光Lens早期汙染預警防護及濾網效率檢測機制

文 | 蕭睿呈 | 南科廠務1廠務一部 |

半導體產業按照摩爾定律蓬勃發展，對於無塵室內的溫溼度、氣態分子汙染物等生產環境品質的控管越趨嚴格，影響著製程區域產品良率。廠務端以自動分析儀器對環境進行AMC定點監控已成為各廠標準模式，並輔以人力至現場巡檢。本篇為加強黃...

按讚

0

點閱 (33)

2019.9, Vol.35 / 新象新知

Combined Inspection Robot and AI monitoring for Cleanroom Quality Control

自動巡檢結合智慧監控應用於無塵室空氣品質量測

文 | 蕭睿呈 | 南科廠務一部 | 林安祺 | 智能廠務管理課 | 朱晃民 | 南科廠務一部 |

半導體產業蓬勃發展，因此對於無塵室內的溫溼度、氣態分子污染物 (AMC)等生產環境品質的控管越趨嚴格，現階段以自動分析儀器並拉設採樣管對固定位置進行AMC監控，並輔以人力至現場進行巡檢。隨著晶圓生產廠區規模越趨龐大...

按讚

1

點閱 (172)

2017.3, Vol.25 / 技術專文

The Novel Development of Intelligent Facility System

廠務系統智慧化的發展展望

文 | 張翊祥 | 南科廠務三部 |

近期由德國提出的工業4.0掀起極大的回響，一時之間智能化、智慧化、物聯網及大數據佔據大幅的報導及演講版面。本公司十二吋廠務部在自動化管理其實著墨已久，無論是自動化控制或是運轉資訊收集，均建立了良好基礎。本文將從介紹...

按讚

1

0

點閱 (114)

2017.3, Vol.25 / 新象新知

Smart Factory Monitoring and Big Data Management in Manufacturing Industries

智慧工廠監控與製造業訊息管理概念

文 | 蘇勝一 | 南科廠務一部 | 陳彥鳴 | 研華智能自動化事業群 |

隨著製造業發展與工業4.0概念的提出，工廠智慧化與製造資訊整合成為製造企業發展的關鍵。因此，在即時製造與彈性生產過程中，需要生產過程監控、產品品質管控、物流倉儲管理、生產能耗分析、廠務設備監控等系統，以實現智慧工廠...

按讚

0

點閱 (26)

文章分類

熱門關鍵詞