TSMC 廠務季刊

2022.3, Vol.45 / 技術專文

Improved vibration quality of rotating components of air abatement equipment

空污防制設備轉動元件振動品質精進

文 | 陳聰 | 新竹廠務三部 |

在生產製程中產生的污染廢氣，會使用到離心式風機來處理廢氣排放。目前廠區多半的風機都是用外國經過電腦模擬計算設計的工法，以高處理效率及降低成本的目的來製作風機．所以風機整體結構強度在一般氣體使用上應無問題，但若是使用...

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2021.03, Vol.41 / 技術專文

Seismic Isolation Engineering of Semiconductor Process Tools

半導體製程機台隔震工程實務

文 | 吳家榮 | 郭昺辰 | 新廠工程管理部 |

依據歷史地震資料顯示，半導體製程機台受地震影響最嚴重的是爐管機台，晶片也是在爐管機台內損失最嚴重，因此保護爐管機台與爐管機台內的晶片就成為對抗地震的重點目標。本文針對爐管機台隔震工程實務，做了一系列深入的探討，配合國家地...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

Application of Micro Vibration On-line Monitoring System

微振動即時監測系統之應用

文 | 吳信達 | 廠務技術發展部 |

本文將先簡單舉例說明「振動」對半導體機台的影響性，再介紹國際上常用的Colin Gordon微振動準則(VC-Curves)，讓讀者了解振動對產能、良率的影響性。之後的章節將說明微振監測系統的架構與應用範圍，以及與...

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2013.9, Vol.11 / 技術專文

Design and Installation for Anti-vibration Bases

隔振基座設計及安裝

文 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |

廠務系統如排氣（Exhaust）、製程冷卻水（PCW）、廢水（WWT）及超純水（UPW）中的轉動設備(主動振源)及其相對應之管線(被動振源)為廠房中的主要振動來源，因此有效控制廠務設備因機器振動傳遞到地面的振動力，...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Signal Processing and Spectral Analysis

訊號處理及頻譜分析

文 | 陳錦村 | 廠務技術發展專案 |

The signal processing is the fundamental to deal with digital signal data, such as vibration or earthquake ...

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2012.4, Vol.06 / 技術專文

Floor Vibration Assessment

樓板振動評估

文 | 陳錦村 | 廠務技術發展專案 |

The floor vibration control is very important not only to High-Tech manufacturing factory but also to other...

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2011.4, Vol.02 / 技術專文

Microseismic Spring Wafer Wagon Design for Vibration Improvement

創新型微震彈簧推車研發設計及震動改善

文 | 張智能 | 徐岳聖 | 黃俊銘 | 蕭博戎 | 唐炳順 | 朱良堃 | 三廠廠務部 |

針對本廠既有推車做不同類型參數實驗，包括孔洞板、實心地板、軟硬彈簧等震動試驗，以研究在各種不同的參數實驗下，推車於運送POD過程中分析Wafer震動及Wafer Notch旋轉偏移等問題做深入之探討。本研究分成實驗...

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