TSMC 廠務季刊

2024.4, Ann.2023 / 技術專文

Sharing of Fab 15B Annual Maintenance Report and AAS System Negative Pressure Cabin Experience

Fab 15B 年度維修報告與機械主風管負壓艙經驗分享

文 | 陳宗傑 | 陳信任 |

2023 年 F15B 規劃兩次歲修，分別是 P5 執行機台停電歲修保養 ( 工廠停止生產 )、P7 執行 25% 高壓電力系統保養 ( 工廠持續生產 )。

2023 年 3 月 15 日，F1...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文

The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency

發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討

文 | 鍾旭成 | 新竹廠務一部 |

近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高，許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電，協助台電分擔電網負荷，渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Development and application of an integrated auto-clean machine for Pumping-line

Pumping-line 全自動清管器的開發與應用

文 | 植軍章 | 謝儀明 | 南京廠務部 |

「製程排氣管路」(Pumping-line)作為「生產機臺附屬系統的一環，一方面承載著提供製程chamber高真空度環境的作用，另一方面也是製程排氣輸送至「現址式廢氣處理洗滌塔」(Local scrubber, L...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文

New Generation FAB Gas Insulated Switchgear Design Structure Evolution

新世代廠房之氣體絕緣開關設備設計架構再進化

文 | 邱士齊 | 研發廠務部 | 湯宏謙 | 新廠設計部 |

台積廠區為特高壓電力用戶，座落於科學園區內。台電超高壓變電所採用環路架構供電給科學園區內各家工廠，並使用GIS電力設備，因此台積廠區也是使用GIS與台電環路連接供電。
GIS是廠內電力系統最上游的電力設備，...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Emissions Warning Mechanism of Local Scrubber

應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備氟氣排放預警機制

文 | 黃柏勛 | 林永璋 | 新廠設計部 |

台積電空氣污染防制設計採用「源頭分類、多段式處理」做法，除了依國家法規設置中央式空氣處理設備(CSC)外，同時更針對不同製程氣體特性增設高效率現址式空氣處理設備(LSC)，使排入大氣的污染物含量符合或優於政府規定。...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

New Challenges of Exhaust Reduction - EPI Dual ACP Exhaust Reduction Project

排氣減量新挑戰 - 雙磊晶反應室機台排氣

文 | 盧銘駿 | 竹科廠務三部 | 陳駿華 | 新廠設計部 |

磊晶機台共分成Main Chamber和氣櫃（Gas Box）兩個箱體，彼此互通，每個箱體上方銜接6吋的排氣風管，調整前兩支風管總抽風量為1248CMH，另外還有兩個預潔淨反應室（SiCoNi），各接6吋的排氣風管...

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2015.9, Vol.19 / 新象新知

The Check Damper Development and Application for AAS System

逆止風門開發及應用

文 | 葉俊賢 | 竹科廠務三部 | 楊詠翔 | 南科廠務四部 |

由於半導體製造技術愈趨複雜化及精密且產能不斷的提升，讓排氣系統面對的不只是要符合日益嚴格的法規要求，更要提供更穩定及安全的負壓；這無疑是排氣系統的一大挑戰。本文所探討的是目前排氣系統中平時最不被注意，但又是在操作...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

Exhaust Damper Improvement, Development and Application in New Fab Construction

排氣系統風門型式發展與新建廠區之應用

文 | 姚文淙 | 十二廠六期專案 |

在廠務排氣系統的建置過程中，風門與風管為主要的構成元件。若以去年新建完成之十四廠四期廠區為例，整個排氣系統的建置總排氣量，約為3,000,000CMH，其中風管的材料使用總量，達到30,000平方公尺以上。若單就風...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

Exhaust Monitoring System Study and Design

廠務排氣監控系統探討與設計

文 | 李文振 | 新廠設計部 |

AAS(Air Abatement System)是半導體晶圓廠生產所必需的重要系統，必須考量許多因素以符合各項運轉需求，如安全控管、空間運用、系統容量設計及運轉操作維修等等，故於建廠階段就必須將所有相關因素納入設...

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