TSMC 廠務季刊

2022.3, Vol.45 / 技術專文

With more strictly air pollution regulations, Local Scrubber improve strategy for aged operation Fab

日趨嚴謹空污法規對於成廠區LSC之精進改善

文 | 盧泓佑 | 新竹廠務二部 | 康智翔 | 新竹廠務二部 |

歷經二三十年的發展，半導體工業已經成為台灣最重要的經濟支柱之一，隨著半導體工業的高度成長，明星產業背後所隱藏工業污染問題也日益受到重視。各界漸漸對空污排放提高標準，而對於運轉多年半導體廠區，既設製程尾氣處理設備如何...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Inspection and Re-creation a Friendly Environment for Air Pollution Reduction for 30-year-old Factory

30年老廠空污健檢減量與再造友善環境

文 | 魏君穎 | 新竹廠務一部 |

由於環境污染日趨惡化，加上近年來環保意識抬頭，各界對於污染管制紛紛提高標準，工廠廢氣的排放也受到關注。對企業而言，除了必須遵守空氣污染法規的要求外，如何在資源有限的情況下降低廢氣的排放量和改善防制設備發揮最大效益，...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab

研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略

文 | 黃友元 | 盧銘駿 | 竹科廠務三部 |

空氣污染問題已成為人們日常討論的議題，統計陳情案件，以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多，而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質，操作者應思...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Local Scrubber Clogging Improvement and PM Frequency Reduction

製程廢氣處理設備阻塞改善與保養頻率有效減量

文 | 王仁暉 | 南科廠務三部 |

製程廢氣處理設備因為會有副產物的產生，而需進行預防保養，但若副產物過於頻繁的阻塞問題發生，使得保養頻率升高，造成人力資源投入與負荷過大，即為異常阻塞事件，因此必須要進行各項阻塞改善措施去減量。本文即以南科廠所遇到的...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

The By-product and Parameter of Burning Type Local Scrubber

燃燒水洗式洗滌塔操作參數與副產物探討

文 | 范銘哲 | 王仁暉 | 楊孟堯 | 南科廠務三部 |

製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(PFCs)僅能由現址式空氣處理設備(Local scrubber)處理削減，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst ...

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2018.6, Vol.30 / 新象新知

Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing

低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術

文 | 謝曜謙 | 竹科廠務一部 | 張木彬 | 國立中央大學 |

本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...

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