TSMC 廠務季刊

2024.03, Vol.53 / 技術專文

The Net-Zero Development Roadmap of TSMC

台積公司淨零發展方向

文 | 張智能 | 新竹廠務七部 |

因應氣候變遷是企業永續經營的責任，身為全球最大的半導體技術與產能提供者，台積公司承諾民國139年達到淨零排放並規畫淨零藍圖，民國114年起碳排放零成長且逐步下降，民國119年碳排放回到民國109年排放水準，民國139年含...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Chiller Optimization-Auto Clean Tube System for Condenser of Chiller

冰機最佳化的最後一哩路-冷凝器ACTS的應用

文 | 黃承灝 | 邱冠瑋 | 台南廠務一部 |

廠務空調系統中以冰水主機為最耗能之設備，冰機主要散熱結構為冷凝器，其中因冷卻水為開放系統，水中容易生成微生物及藻類並於冷凝器銅管壁上形成結垢，進而降低冷凝器熱交換效率，使壓縮機需提升作功以達成散熱造成耗能增加，本文...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文

Part-II of UPS ECO Mode(New Concept for UPS Energy Saving Enhanced)

UPS ECO節能第二部曲(效率提升新構想)

文 | 郭俊毅 | 王正宇 | 張鈞惠 | 中科廠務三部 |

本文在不變更UPS硬體架構下，將Delta DPM UPS在ECO模式下效率再提升的新構想。在ECO模式下分別將DPM 450kVA、825kVA UPS關閉一組及兩組整流器不使用，能有效的減少UPS待機下電力損耗。由U...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文

Evolution and Integration of Compressed Air System Energy-Saving Technologies

壓縮空氣系統節能技術演進與整合

文 | 薛弘仁 | 南科廠務1廠務五部 | 游昇哲 | 南科廠務2廠務二部 |

我們整合了文獻上的節能技術進行壓縮空氣系統之環境改善、機台改善、控制模式改善，最後導入新的物聯網大數據分析概念，使用Atlas ES360中央控制器進一步程式運算分析配置端緩衝槽壓力數據然後由其動態預測壓力回饋調整供應端...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Artificial Intelligence of Energy Saving Deployment in Chiller System

人工智慧應用於冰水系統節能技術探討

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 | 蔡昆憲 | 製造技術中心 |

台積電運用人工智慧和大數據分析將製程最佳化，應用此精神追求冰水系統效能最佳化。2017年應用大數據分析及結合冰水系統找到全系統最佳效能運轉機制，成功開發業界第一個冰水系統最佳化節能控制系統(正負2度C)，但因機台管...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System

正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 |

在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...

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2018.6, Vol.30 / 新象新知

Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing

低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術

文 | 謝曜謙 | 竹科廠務一部 | 張木彬 | 國立中央大學 |

本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文

Application of UPS HRS Harmonic Reduction and Power Factor Correction

不斷電諧波抑制系統之諧波改善與功因校正實務應用

文 | 黃晋益 | 李豐裕 | 周俊宏 | 胡緯民 | 南科廠務三部 |

UPS啟用節能模式後，變電站受到UPS輸出側之高諧波或低功因負載影響，導致電源總諧波失真程度及功率因數變差，同時，變電站需提供更大電流以因應高諧波或低功因用電設備。本文一開始先說明UPS節能模式如何使變電站諧波與功...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

New Challenges of Exhaust Reduction - EPI Dual ACP Exhaust Reduction Project

排氣減量新挑戰 - 雙磊晶反應室機台排氣

文 | 盧銘駿 | 竹科廠務三部 | 陳駿華 | 新廠設計部 |

磊晶機台共分成Main Chamber和氣櫃（Gas Box）兩個箱體，彼此互通，每個箱體上方銜接6吋的排氣風管，調整前兩支風管總抽風量為1248CMH，另外還有兩個預潔淨反應室（SiCoNi），各接6吋的排氣風管...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

The Rigorous Verification for Energy Saving Mode of New UPS Firmware Upgrade

不斷電系統新版韌體節能模式驗證手法分享

文 | 周俊宏 | 李豐裕 | 黃晋益 | 胡緯民 | 南科廠務三部 |

因應全球氣候變遷，本公司積極推動節能減碳計畫。本文以國際半導體業界標準IEC 61000-4-34 (SEMI F47-0706)與IEC 62040-3、非線性負載以及歷來失效案例等手法，全面驗證Eaton 93...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

The Practical Assessment for UPS Power Efficiency Improvement

不斷電系統效率提升實務探討

文 | 黃鈵翔 | 胡家誠 | 南科廠務三部 |

本文主旨在於廠內穩定運轉的前提下，不變更UPS整體架構，探討成本與改善可行性，使Delta NT 500kVA UPS效率得以提升，達到節能減碳的效果。針對UPS既有架構提出三種節能想法，可分別在online和EC...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

The Energy Saving Practice of Fab Lighting Control

淺談廠區照明節能實務

文 | 詹勝羽 | 中科廠務一部 | 卓怡愷 | 南科廠務三部 |

本文主要針對廠區內已實施之照明節能方式，淺談照明節能控制系統及避難標示燈電池減廢方法。照明節能控制系統方面，主要介紹如何在廠房24小時運轉下，在對的時間下提供最佳的照明，系統主要功能有可自動或手動進行遠端照明控制及...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文

New Blue Ocean of Energy Saving and Waste Reduction - The Principle and Application of MVR

節能減廢新藍海 - 機械式蒸氣再壓縮系統原理概述及應用

文 | 張朝鈞 | 中科廠務二部 |

廢棄物減量為公司綠色製造主軸之一，2015年致力於廢硫酸去除雙氧水回收再利用，大幅減少廢硫酸委外清運量及處理費用。2016年隨占比調整，30%硫酸銨已躍居最大宗廢棄物，分析30%硫酸銨其中水份佔70%，除增加廢棄物...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

The Brief Introduction of the Application of Run-Around Coil Heat Recovery System to MAU

淺談盤管環路熱回收系統在外氣空調箱的應用

文 | 施文彬 | 中科廠務一部 | 張智凱 | 奇立實業股份有限公司 | 樊素娟 | 艾法股份有限公司 |

節能減碳，提高能源使用效率已成為當前刻不容緩的議題之一。本文透過對於盤管環路熱回收系統的介紹，以及瞭解該系統在實際空調領域的應用方式後，說明如何將盤管環路熱回收系統導入半導體廠「外氣空調箱」（Make-up Air...

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2015.12, Vol.20 / 新象新知

IOT Meets Big Data: Microsoft Smart Building Pilot Project

當物聯網遇見大數據：以微軟智慧節能前瞻計畫為例

文 | 鍾振武 | 公共設施服務部 | 賈儒慶 | 公共設施服務部 | 黎昌憲 | 公共設施服務部 |

本文針對微軟在辦公物業及其運轉設施的維護管理進行介紹，說明如何透過導入前瞻性的能源管理方案，並結合全球知名的能源管理顧問公司(Accenture)及美國能源部的勞倫斯柏克萊國家實驗室(Lawrence Berkel...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Liquid Desiccant Air-conditioning and Energy Saving Applications

溶液除濕空調與節能應用

文 | 周政隆 | 新廠設計部 | 陳俊棋 | 台灣費思科技 |

傳統空調系統的優勢在於顯熱的處理，即使經過百年的改善精進，要在既有的原理基礎上得到良好的潛熱處理效率仍是困難。而溶液除濕空調(Liquid-Desiccant Air Conditioning., LDAC)系統則...

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