TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Supply Risks and Countermeasures of GC under Extremely Cold Weather

極寒天氣下氣化課供應風險與應對策略

文 | 邵駿鵬 | 張偉偉 | 南京廠務部 |

台灣地區位於北緯21°~25°，全年平均氣溫22~27℃，冬季氣候最低僅至4~5℃，目前因極寒天氣造成氣化課運轉異常的報道較少，而隨著台積全球化佈局的進行，各地氣候差異對氣化課運轉影響越來越不可忽視...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文

Change of Preventive Maintenance in Generator Mode from Standby to Normal

備用變常用 - 發電機保養新思維

文 | 陳奕任 | 黃振瑋 | 游天威 | 台南廠務四部 |

隨著TSMC的成長，北中南陸陸續續擴廠興建，各區域對廠內的電力穩定供應更形重要。近年來台灣用電需量屢創新高且大量導入再生能源併網，其現階段電力規劃與非基載能源變動性對供電能力及電網運轉穩定性勢必產生影響，電力調度面...

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2023.03, Vol.49 / 技術專文

Gas Chemical Management System development risk control and project management

氣化運轉管理系統GCMS開發風險控管與專案管理

文 | 吳柏葳 | 許彤安 | 廠務數位發展部 |

本專案聚集竹、中、南具實務經驗的氣化課同仁，一同參與氣化管理系統GCMS (Gas Chemical Management System) in-house標準平台的開發，除了消弭各廠FHM因差異造成的運轉風險，用...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Management Of Facility Water System Operation for Fast Ramping Up

因應新廠快速擴產下的水系統運轉管理心法

文 | 林志剛 | 台南廠務九部 |

近年新廠快速擴展，於2021年達到前所未見的高峰(F12P8, F18P4/P5, AP2C, AP06)，平均每90天完成一座FAB。因應裝機時程緊湊，整體工期需較以往縮減6~9個月，主要挑戰如下 : ①缺工缺料 : ...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Find the voice in the extreme environment-application of Industrial Acoustic Imager in foundry

在極限環境中看見你所未聞之物-工業聲學顯像儀實務應用

文 | 張謙獻 | 新竹廠務四部 |

廠務工程師的專業職責在於安全的供應晶圓廠區設備的一切所需，身為工廠的安全守護第一線，於廠區擁有數以千計的機台/附屬機台需要進行監控、巡檢，如何在短時間內有效地找出機台問題點是很大的挑戰。對於這項挑戰，本篇使用工業聲學顯像...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Optimization of Intelligence application efficiency_Real-time analysis for exhaust sub-main with tool FDC

智能應用效率最佳化_Exhaust sub-main自動連結設備FDC即時分析系統

文 | 吳聖儀 | 台南廠務六部 |

300mm廠務組織合併後，集合眾專家所長推出了廠務資訊整合平台-OneFAC，藉此輔助廠務運轉管理，也因系統整合，廠務有平台可獲取各廠的廠務相關資訊，可說廠務運轉管理已邁向成熟階段。然而對廠內資訊的呈現仍不夠即時，...

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2021.9, Vol.43 / 技術專文

Facility Academy Introduction and Future Development Strategy

廠務學院介紹與未來發展策略

文 | 鄭昭平 | 廠務技術發展部 |

人才是企業的基石，也是企業最重要的資產，人才培育對企業是非常重要的。近年來廠務組織隨著公司快速成長不斷擴大，人員的能力是否札實是廠務穩定運轉的關鍵。儘管過去廠務已有許多訓練課程，但由於沒有專業的訓練環境及有效的工具...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文

Facility Systems Operation Stability–System Reliability Management

廠務系統穩定運轉–可靠度管理

文 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |

廠務系統為穩定運轉，而設計為熱備援模式穩定供應，廠務系統除了要求各個設備穩定運轉外，也要求即時運轉在熱備援模式，以避免任何一項設備問題停機而影響整體系統穩定供應；為了能夠即時偵測系統是否符合熱備援穩定運轉需求，因此系統可...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文

Facility Systems Operation Stability–System Alarm Management

廠務系統穩定運轉–警報管理

文 | 王明富 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |

警報管理為廠務運轉的基石，如何建構完整度100%整合系統架構沒有遺漏?如何智能區別為真實警報或是維修、保養及測試警報?系統發生警報泛洪(Alarm Flooding)時，值班該如何面對?如何讓警報轉化為事件?需要智能自動...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文

Facility Systems Operation Stability–200mm fabs Quality Management

廠務系統穩定運轉–200mm Fabs品質管理

文 | 吳永堂 | 廠務處 |

200mm廠區皆為20年以上的老廠，一些人在這些廠用一輩子的青春，盡心盡力地絞盡腦汁在改善這些廠區的供應品質，廠務品質管理由TSMC FACILITY GENERIC SPC PRACTICE and SPEC. O.I...

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2012.7, Vol.07 / 特別企劃

Innovative Air Condition Chilled Water System Multi-Core Concept Implementation of Energy Efficient Design and Operational Optimization

創新型空調冰水系統多核心分工節能設計及運轉最佳化

文 | 張智能 | 徐岳聖 | 黃俊銘 | 蕭博戎 | 唐炳順 | 朱良堃 | 胡毓堂 | 吳孝修 | 三廠廠務部 |

本研究以逆向思考突破傳統舊有節能思維，以創新方法新技術之“多核心分工節能最佳化模式”運轉，亦即依不同天候條件及空調負載變化需求，各系統做最適化相互匹配及多核心分工變頻運轉，使其運轉處於最佳狀...

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2012.7, Vol.07 / 技術專文

Energy Saving on Elevator Operations

電梯節能新技術探討

文 | 吳國璋 | 林志勇 | 公共設施服務部 |

利用馬達反向運作產生電力回授發電之技術存在已久，但隨著材料科學精進及電力電子技術演進，電力回收效率已有明顯進步。新式電梯在回生運轉過程中加入發電回收系統回收電力，藉由永磁式馬達新技術增加回收效能，不但能有效增加電梯...

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2011.10, Vol.04 / 技術專文

F12P5 Liquid Nitrogen Central Supply System

十二廠五期液態氮中央供應系統

文 | 古志清 | 十二廠六期專案 |

RD在F12P4廠區開始導入GN2 supply under -185℃的系統，藉此低溫環境來降低物質活性，達成預期目標。機台所需的低溫環境，是藉由更低溫的物質(Liquide N2...

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