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2022.9, Vol.47 / 技術專文
Challenges and breakthrough of 200mm Fab system expansion-example by VOC/VEX system expansion
200mm廠區系統擴充面臨考驗與突破-以VOC/VEX系統擴充為例
文 | 李振中 | 竹科廠務二部 |
三廠原始空污處理系統無設計備援機制，各區域僅要求維持負壓，後期為維持負壓，擴充時僅考慮管路串並聯混接，且AEX/VEX為法規加嚴後才進行擴充。為在不影響無塵室運作下擴充系統卻導致擴充後系統過於複雜，增加系統穩定運轉困難度...

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點閱 (55)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
RD Fab Outside Air AMC Improvement-Analyzation and Verification of Optimizing Operating Parameters of Zeolite Rotor Concentrator
RD Fab外氣AMC改善-沸石濃縮轉輪運轉參數最佳化之分析與驗證
文 | 陳建豪 | 新竹廠務四部 | 詹資盛 | 新竹廠務六部 | 張貴琳 | 新竹廠務四部 |
隨著半導體製程的演進，氣態分子汙染物(Airborne Molecular Contamination, AMC)對於半導體製程良率的影響愈來愈顯著，並有許多案例證實其中的低分子量汙染物IPA對於B.S.(Barrier...

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點閱 (71)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
AI application-AMC prediction by machine learning and pollution source analysis
應用AI-AMC機械學習預測與污染來源分析
文 | 莊鎧瑋 | Arizona Facility |
因應市場的需求，半導體製程技術演進快速，電晶體30年內已縮小了1000倍，到了五奈米的技術，而隨著規格及產線環境要求的提升，氣態分子微汙染(airborne molecular contamination, AMC...

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點閱 (32)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Chiller Optimization-Auto Clean Tube System for Condenser of Chiller
冰機最佳化的最後一哩路-冷凝器ACTS的應用
文 | 黃承灝 | 邱冠瑋 | 台南廠務一部 |
廠務空調系統中以冰水主機為最耗能之設備，冰機主要散熱結構為冷凝器，其中因冷卻水為開放系統，水中容易生成微生物及藻類並於冷凝器銅管壁上形成結垢，進而降低冷凝器熱交換效率，使壓縮機需提升作功以達成散熱造成耗能增加，本文...

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點閱 (32)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Cleanroom Supply Air Quality Improve-Outside Air Pre-washer
無塵室空氣再淨化-外氣預水洗處理
文 | 張志宏 | 新廠設計部 |
半導體製程世代持續演進，製程對氣態分子汙染物AMC(Airborne Molecular Contamination)管控要求亦越趨嚴格及重視，如何有效控制無塵室內AMC品質便成為廠務運轉上的重要課題。以AMC要求...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文
The prevention of hydrogen leak from EPI LSC in N28 plant
虛驚不再來-N28 EPI LSC洩漏全面改善
文 | 張景隆 | 楓祥儀 | 楊竣凱 | 台中廠務一部 |
N28 EPI製程會排放高濃度的氫氣至LSC進行處理，但隨著LSC元件逐漸老化導致LSC前段水洗氫氣洩漏風險上升。本文針對F15A廠內三個氫氣洩漏的虛驚案例，發現原因為機台設計、元件老化及既有保養方法不足，並以此朝...

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點閱 (18)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Lubrication Improvement for Electric Motor Bearing and Investigation of Predictive Maintenance by Ultrasound Detection.
馬達軸承潤滑改善與超音波預知保養手法探討源分析
文 | 林煒喆 | 林成彥 | 陳博政 | 台南廠務四部 |
馬達故障原因中，軸承故障佔41%，大部分為潤滑不良造成。潤滑失效中最主要因素為潤滑不足，造成介面間直接摩擦而磨損。然而潤滑不足導致的因素卻不只是油加的不夠，反而過度注油也會間接造成潤滑不足與其他不良影響。 ...

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點閱 (78)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Explore for Line stopping method
流體管路線上阻斷工法探討
文 | 郭子豪 | 台南廠務二部 |
半導體工廠生產線全年不間斷運轉，廠務中央供應系統常因系統擴充、零件汰換需求甚至異常破管、洩漏問題不得不停線維修，造成不必要額外損失。線上帶壓開孔工法(HOT TAPPING)經過數十年不斷演變，可靠度與安全性亦不斷...

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點閱 (31)
2022.9, Vol.47 / 技術專文
Application of IOT Tech. on Air abatement system Failure Prediction
應用IOT技術於AAS早期震動故障預警系統
文 | 曾柏憲 | 張子鴻 | 台南廠務四部 |
因應趨向嚴苛的空氣污染防制法，降低因保養不當/未發現異常/系統壽命造成之系統異常為本廠相當重視之議題，於本篇中以互聯網與機械學習作為主軸。來探討使用具有高彈性的αduino架構用於空氣污染防治設備上以期...

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點閱 (28)
2022.6, Vol.46 / 技術專文
The new design concept for intrinsic safety of LV switchboard
LV配電盤本質安全新設計思維
文 | 詹勝中 | 徐正威 | 新廠設計部 |
近年來發生於高科技廠房發生電盤短路事故與日俱增，主因除了人員對「電」會造成的風險事故較為輕忽外，也包含了配電盤的本質安全性不足，因此如何提昇配電盤的安全設計就成為了重要的議題，其中電盤所造成的事故又以LV(Low ...

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點閱 (80)
2022.6, Vol.46 / 技術專文
The protection and management for the power bus of the switchboard at the Tin Whisker phenomenon occurs
配電盤之電力匯流排在錫鬚現象發生時防護管理作為
文 | 邱宗賢 | 盧光泓 | 新竹廠務三部 |
電力匯流排是電力系統配電的重要連結，當電力匯流排發生短路事故時，往往伴隨重大災情與損失，輕則影響單一分電箱供電，重則造成變電站裝甲盤損毀導致電力系統事故，而如何達到有效的防護管理目前已是科技廠的重點之一。本文蒐集台積廠區...

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點閱 (164)
2022.6, Vol.46 / 技術專文
Improved inspection and management methods for Silicone Rubber Termination
高壓處理頭檢測管理手法精進
文 | 陳偉儒 | 吳俊毅 | 徐誌遠 | 新竹廠務二部 |
「電纜終端處理頭」(Termination)是電力傳輸重要的一環，其最主要功能為高壓電纜與電氣設備連接的橋樑，並且控制電場在電纜絕緣體內部的分佈，使電應力在接頭處均勻分佈，減低靠近遮蔽體邊緣的「電應力」(Elect...

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點閱 (57)
2022.6, Vol.46 / 技術專文
Discussion and Experience sharing of Low Voltage Switchgear Arcing Fault
LV電盤電弧事故探討與經驗分享
文 | 曾煥堯 | 陳德瑋 | 新竹廠務處 |
低壓配電盤位於電力供應的最後一段電力分配位置，低壓配電盤發生故障時，代表某一區域或某些類型負載電力供應異常，在運轉實務上經常出現因施工或設計不良導致低壓配電盤發生短路事故產生電弧，若低壓配電盤設計不良可能造成低壓配電盤內...

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2022.6, Vol.46 / 技術專文
Safety management of UPS battery discharge based on Easy Capacity Test
UPS電池內循環放電作業安全管理
文 | 温承叡 | 王俊仁 | 新竹廠務處 |
近年來不斷電系統(Uninterrupted Power System, UPS)已被廣泛使用，當電力系統異常時，需透過電池放電即時提供能量。為維持UPS運轉妥善率，需針對電池進行例行性放電檢測，傳統檢測手法為將電池串接...

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2022.6, Vol.46 / 技術專文
Safety and Protection Management of High and Low Voltage Switch Operation
電力高低壓開關操作安全防護管理
文 | 葉喬暐 | 新竹廠務一部 |
作業場所只要使用電氣設備，大至高壓電力切換，小至微型開關操作，現場四周即存有「電」之危害，常因不知「電」之危險，過於接近、觸及帶電物體或是操作程序有瑕疵，時常導致發生感電、觸電事故，造成人員受到傷害。明瞭電力操作過...

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2022.6, Vol.46 / 技術專文
Hazard Analysis of Arc Burns and Safety Management of Operation in Electric Switchboard
配電盤電弧灼傷之危害分析及作業安全管理
文 | 廖峻霖 | 台中廠務一部 |
電弧閃絡危害(arc flash hazard)一直是現場電氣工作人員除感電外的最大隱藏風險，其嚴重性和感電一樣可能會致命。根據 IEEE Std. 1584(IEEE Guide for Performing A...

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