TSMC 廠務季刊

2023.06, Vol.50 / 技術專文

The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency

發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討

文 | 鍾旭成 | 新竹廠務一部 |

近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高，許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電，協助台電分擔電網負荷，渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Hollow Fiber-based TOC Filter

中空纖維TOC濾網 - AMC濾網設備化的新紀元

文 | 曹志明 | 廠務技術發展部 |

針對先進製程區域MAU出口端異丙醇/丙酮極低濃度的規範要求，既有活性碳(Active Carbon)型濾網對異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)以及丙酮(Acetone)去除效率差且握持量不足，極短的時...

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2020.9, Vol.39 / 技術專文

AMC Improvement Using CFD Analysis in CUP Area

從空污及煙流模擬改善運轉廠區AMC微污染

文 | 林志穎 | 古義榔 | 竹科廠務四部 |

半導體廠房因土地空間的限制將煙囪設計於廠房的屋頂，當煙囪與外氣空調箱進氣口設計不良時導致污染物被MAU吸入至廠房內，形成AMC微污染。本文研究減少MAU進氣口受到污染物的影響，首先利用IC放樣得知冬天(東北季風)時進氣口...

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金筆獎入圍

2014.6, Vol.14 / 技術專文

Influence of Cleanroom Ambient Humidity on the Formation of Nanoparticles

無塵室環境濕度對於奈米粒子污染生成的影響

文 | 郭啟文 | 廠務技術發展專案 |

Water condensation on wafer surfaces is highly related to the formation of nanometer size defect. In the ma...

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2013.9, Vol.11 / 技術專文

Apply Progressive Placement Method to Cleanroom Ceiling Construction

無塵室天花板高低平台工法應用

文 | 張文龍 | 陳芳明 | 十五廠廠務二部 |

晶圓廠的興建作業中，土建鋼構及無塵室的建造為主體項目，而無塵室的迴風格子樑設計導致土建作業的難度增加，為了能夠縮短整體工期滿足安全的要求，承攬商將公共工程常見重型施工鷹架導入在十五廠三期與四期廠房的無塵室新建工程，...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

AMC Source Identification by CFD Modeling in Cleanroom

潔淨室氣態分子污染物(AMC)污染源之預測方法

文 | 曹志明 | 新廠設計部 | 黃正吉 | 製造技術中心 | 周政隆 | 新廠設計部 |

一般潔淨室設計中對於汙染源的預測大多採取由已知點釋放汙染物(實驗或計算)，再觀察汙染源擴散的情況的方式來瞭解汙染物在潔淨室中的行為。但在真實運轉中的潔淨室，通常我們只能觀測到結果，而無法得悉汙染物由何處而來，若擬求...

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