TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Improving reclamation efficiency of Waste Piranha Solution

高濃廢硫酸再利用創新改良-廢硫酸稀釋法實務應用

文 | 林冠宇 | 新竹廠務八部 | 王建翔 | 新竹廠務八部 | 陳宜樂 | 先進封裝廠務一部 |

廢硫酸回收系統(Waste Sulfuric acid recycling system)有其運轉規範要求，針對新建廠初期即面臨廢硫酸濃度過高、雙氧水(Hydrogen peroxide)濃度過低之狀況，若採用現況...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文

New Waste Sulfuric Acid Recycle System Development

新世代的廢硫酸回收處理系統開發

文 | 吳世霖 | 綠色製造部 |

目前台積電各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中的雙氧水後回用於氨氮廢水處理等系統，本文針對既有鹽酸法所衍生之含氯物質(氯氣、氯離子)之腐蝕、殘留等問題作一探討和研究後，提出新的處理技術-硝酸法，並透過實驗室以及模廠兩種不同等...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

Optimization Of Waste H2SO4 Decrease H2O2 System

廢硫酸去除雙氧水系統最佳化探討

文 | 曾治寰 | 郭中閔 | 劉柏青 | 台南廠務三部 |

本文以「最佳化探討」(Optimization)廢硫酸去除雙氧水系統，針對廢硫酸(W-H2SO4)去除雙氧水(H2O2)回收系...

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2021.9, Vol.43 / 技術專文

The Planning, Design, and Strategies

for Tai-Chung Zero Waste Manufacturing Center

文 | 張瑄 | 台中廠務處 |

To overcome the challenges of climate changes, limited resources, and population growth, TSMC has committed co...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文

New Technology of NH4N High Removal Efficiency and Recycling in Caustic Wastewater-Stripper

鹼性廢水中氨氮的高效脫除與資源再利用新技術

文 | 韓華楊 | 劉建國 | 南京廠務一部水處理課 |

對於半導體製造業大廠，廢水有效處理達到排放要求，高濃度的氨氮廢水處理格外重要，尤其針對南京廠，根據最新出臺的《江蘇省半導體行業排放標準》，政府規定的硫酸鹽類濃度小於600ppm，且氨氮外排標準已由45ppm 調整至20p...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文

Crystallization Technology of Semiconductor Waste Sulfuric Acid Recovery to Industrial Grade Ammonium Sulfate Liquid

半導體廢硫酸回收轉製成工業級硫酸銨乾燥技術探討

文 | 曾俞勳 | 中科廠務二部 | 劉憲文 | 南科廠務七部 |

為了達成「廢棄物產出最小化與資源回收最大化」的循環經濟理念，台積公司持續推動源頭減量及廠內廢棄物回收再利用。本次研究導入普遍用於化工業的「結晶乾燥系統」，對硫酸銨廢液進行蒸發濃縮產出工業級硫酸銨晶體，不但節省硫酸銨委外...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid

廢硫酸去除雙氧水系統安全防護提升

文 | 呂欣 | 十四B廠工安衛生部 | 劉明翰 | 十四B廠工安衛生部 | 唐祺夏 | 十八廠 | 劉柏青 | 南科廠務五部 | 蕭千城 | 南科廠務五部 | 吳厚萱 | 中科廠務五部 |

本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

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