TSMC 廠務季刊

2024.4, Ann.2023 / 技術專文

Sharing of Fab 14A Annual Maintenance Report and Replace UPW Main Pipeline

Fab 14A 年度維修報告與純水主管路更新經驗分享

文 | 梁進添 | 侯銘凱 |

F14P12 廠務依電力系統歲修規範，在8 月2 日06:00 ~ 20:00 執行低壓電力系統歲修保養，期間維持廠務系統in spec. 運轉，並進行 1/3 低壓電力設備保養，影響工廠共計 435 台機台，救援...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Chiller Optimization-Auto Clean Tube System for Condenser of Chiller

冰機最佳化的最後一哩路-冷凝器ACTS的應用

文 | 黃承灝 | 邱冠瑋 | 台南廠務一部 |

廠務空調系統中以冰水主機為最耗能之設備，冰機主要散熱結構為冷凝器，其中因冷卻水為開放系統，水中容易生成微生物及藻類並於冷凝器銅管壁上形成結垢，進而降低冷凝器熱交換效率，使壓縮機需提升作功以達成散熱造成耗能增加，本文...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Artificial Intelligence of Energy Saving Deployment in Chiller System

人工智慧應用於冰水系統節能技術探討

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 | 蔡昆憲 | 製造技術中心 |

台積電運用人工智慧和大數據分析將製程最佳化，應用此精神追求冰水系統效能最佳化。2017年應用大數據分析及結合冰水系統找到全系統最佳效能運轉機制，成功開發業界第一個冰水系統最佳化節能控制系統(正負2度C)，但因機台管...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文

Distributed Optical Fiber Sensing Temperature On-Line Monitoring and Locate Fault for Power Cable

分散式光纖電力電纜溫度即時監測及故障預警測距系統

文 | 鍾易璋 | 竹科廠務三部 |

透過電力電纜監測技術的原理概況，探討傳統測溫方法與即時光纖測溫技術的優劣，得知光纖測溫系統在電力電纜應用中的先進性和優越性，進一步研究拉曼散射的原理以及光時域反射技術闡述光纖測溫系統的基本原理以及應用的可行性。本文...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System

正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 |

在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

The Application of High-temperature Desorption for Honeycomb Zeolite Concentrator Treatment System in Semiconductor Fab Facility Systems

高溫脫附法應用於沸石轉輪處理效率改善之探討與驗證

文 | 陳仲祥 | 陳元昊 | 南科廠務一部 |

為了使揮發性有機物(VOC)處理設備保持良好的去除效率，例行保養(PM)是不可或缺的。然而，有些高沸點VOC是無法透過沸石轉輪清洗被清除，甚至隨著時間會有殘留於沸石轉輪的現象，迫使去除效率漸漸衰減至91%。因此，本...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Application of Demister in Removal Performance Enhancement of Inorganic Acid and Base in Scrubber

水力薄膜應用於洗滌塔中無機酸鹼去除效率之探討

文 | 張皓隆 | 南科廠務三部 |

半導體製程中經常使用到大量的有機溶劑及化學酸鹼溶液，部分化學物質會經由揮發或者高溫霧化而被排氣系統所收集至中央洗滌塔處理後排放，其中以濕式蝕刻製程因酸鹼混排延伸出排氣風管結晶與煙囪排放白煙以及硫酸微粒等問題最為困擾...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Machine Engineering Data Analysis Processing Technology

機台工程資料分析預先處理技術

文 | 簡伯恩 | 張志成 | 新廠工程管理部 |

隨著製程微型化演進，任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時，機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測，但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件，當產品有異常...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文

Facility General Meter Setup and Application

廠務常用儀表安裝與選用

文 | 劉彥宏 | 南科廠務三部 |

製程儀控系統在工廠扮演著神經中樞與控制中心的地位，其中儀表擔負著各製程系統的眼睛，即時反應線上系統重要參數與品質數據，同時也肩負工廠系統安全與人員保護的重要任務。本文主旨在介紹廠內常用儀表，介紹溫度、壓力、液位與流...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

Online Monitoring AC/DC Capacitors Ageing of UPS

不斷電系統電容器老化在線監測及本質壽命評估

文 | 沈禎道 | 新廠設計部 |

UPS應用於廠內電力敏感設備的防護已行之有年，在平時運轉中，時有因內部異常導致UPS切換，雖然大部分的切換對下游負載並無影響，但有時仍會影響負載或引發更大的電力事故。本文統計歷年UPS異常原因，發現電容器異常佔內部...

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2012.7, Vol.07 / 技術專文

DTS (Distribution Temperature Sensing) Introduction and Applicaion

分散式光纖偵溫系統簡介及應用介紹

文 | 李文振 | 新廠設計部 |

光纖測溫技術是Hewlett-Packard(HP)於1939年開始設計發展, 迄今已應用將近70年, 其發展至今已能更精準、精確測出異常溫度及發生地點。此技術於國外已大量應用於高壓輸配電線路即時溫度監視；隧道、捷...

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2011.4, Vol.02 / 特別企劃

Energy Savings in Semiconductor Fabs

半導體廠房之節約能源策略

文 | Andreas Neuber | Applied Materials, Inc. |

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