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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Development of a quality monitoring technique of low-pressure gases by applying the Optical Emission Spectroscopy(OES)
光譜分析儀應用於低壓氣體品質監測之技術開發
文 | 王紹宇 | 蔣竣光 | 劉俊男 | 台中廠務四部 |
F15B廠務過去三年曾歷經了多次SiCl4氣體鋼瓶供應品質異常的狀況。每次事件都是發生在氣櫃切邊供應之後約莫20-60分鐘，線上機台反映測得N2不純物，今年在F18A與F...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Quality control-breakthrough development of analytical instrument for slurry dispense system
品質監控-化學研磨液系統分析儀器突破性發展
文 | 曾誌江 | 葉俊宏 | 廠務技術發展部 |
半導體先進製程_CMP化學機械研磨，所使用之Slurry 研磨液品質與CMP defects 息息相關，如何適當地分析研磨液品質更顯得重要。研磨液其組成除了包含研磨粒子之外，還包括一些少量且不同功能的化學品，例如:...

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2020.6, Vol.36 / 新象新知
New Generation Particle Measurement Technique for Liquid Phase Chemical
新世代液相化學品微粒量測技術
文 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |
本文介紹一套由公司和工研院共同合作開發液相化學品微粒量測系統，又稱超級微粒量測儀(SuperSizer, SS)。有別於一般市面上常見的液體微粒計術器(LPC)僅能測至20 nm的微粒，且僅能提供4至5道粒徑區間的測值，...

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2018.9, Vol.31 / 新象新知
Development of the Quality Check System for Specialty Gases
特殊製程氣體之品質監測系統開發
文 | 劉俊男 | 中科廠務五部 | 巫幸峰 | 新廠設計部 | 黃介然 | 新廠設計部 |
本計畫設計了一套特殊製程氣體之品質監控系統(SGQCS)，以補足目前特殊氣體在所有生產原物料中品質監控較弱的一環。此系統結合了現有的氣瓶櫃(GC)，再由一個選擇箱體(Select Box)、一套分析儀器主體及一個氣...

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2012.10, Vol.08 / 技術專文
Performance Test for 40nm Liquide Particle Counter
40奈米液相微粒分析儀實測
文 | 洪舜立 | 專案管理部 |
在晶圓的生產過程中微粒(Particle)會造成品質瑕疵，甚至於報廢，因此如何量測與去除一直是個重要議題，本文針對量測液相流體微粒的新式40奈米微粒分析儀(Particle Counter)與現行主力65奈米分析儀...

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