TSMC 廠務季刊

2022.12, Vol.48 / 技術專文

Chemical supply system upgrade-The challenge of engineering under uninterrupted

化學供應系統架構升級-生產供應不中斷之困難與挑戰

文 | 王彥棋 | 李耀東 | 新竹廠務二部 |

化學供應系統歷經多年的演進及改善，於新廠區已呈現相對穩定的運轉狀態。但反觀老廠之化學供應網絡及控制器已明顯跟不上世代，不斷的在老舊系統上進行小規模的CIT改善只能說是治標不治本，如何將供應網絡全面更新及控制器升級才是長遠...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

Painless upgrade method and practice of old technology plant's gas/ chemical supply system

舊科技廠房氣化供應系統無痛升級方法與實務

文 | 劉桐村 | 台南廠務一部 | 廖俊凱 | 台南廠務一部 |

本文主要說明高科技廠房的廠務設備會隨時間不斷的演化和進步，並伴隨著長時間的運轉經驗而提出更好的系統改善方案，老舊的科技廠房將面臨兩大挑戰。
第一 : 系統硬體部分因逐年老化需汰舊換新並藉由不斷完善改善...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文

Reliability Design of UPS Maintenance Bypass Panel Power Transfer

UPS電源轉載可靠度設計

文 | 林委廷 | 劉佳政 | 南科廠務2廠務一部 |

隨著高科技廠房智慧化的發展，對於人員長期進行單調，且重複性高的電源設備切換工作，產生的人為失誤議題日益重視。根據文獻對全球肇事原因的統計，70%的飛機墜機事故及90%的車禍中，皆由「人為失誤」所造成，證實「人為失誤」是系...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文

Method and Practice of Chemical Dispense Unit Control System Upgrade without Supply Interruption

化學供應系統之控制單元執行不中斷供應的升級方法與實務

文 | 徐銘傑 | 原物料品質提升課 | 鄭祥龍 | 新廠設計部氣體及化學工程課 |

隨著半導體製程由N4X演變至N3，廠務化學品供應系統(CDU)也須同步進化，但在2008年建立之舊式化學品供應系統設計已不符現況，且系統供應商部門解散，造成廠務進化的腳步停滯，必須研擬出新的方法突破現況，以符合N3之先進...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

Development Procedure of Programmable Logic Controller by On-line Simulation

廠務控制程式模擬流程開發

文 | 李宥廷 | 陳民凱 | 南科廠務三部 |

在廠務系統中，大部分系統皆由設備廠商提供程式，部份廠商因機密問題不提供原始程式，又程式撰寫方式均以階梯圖撰寫，且動輒上千條程式，難以深入詳細的動作邏輯。故本文制定出廠務控制程式開發流程，並配合Off Line模擬系...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

An e-Platform for PLC Asset Management

建置大型可程式控制器資產與變更管理中心

文 | 陳恩德 | 劉佳芳 | 竹科廠務二部 |

PLC管理平台其最精髓部分，是將大型十二吋晶圓廠廠務系統中數以千計的PLC進行控制器與卡片資產識別、庫存管理、汰舊換新及程式的變更管理做一個全面性的統整。本文探討 PLC管理平台工具如何運用在廠務各系統PLC之管理...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

A Novel Gas Supply Technique with Stable Output Concentration: Application for the Gas with High Reactivity & Extreme Toxicity

一個新穎的穩定濃度供氣技術：高活性劇毒氣體的應用

文 | 劉俊男 | 黃介然 | 新廠設計部 |

乙硼烷(B2H6, Diborane)為一種相當重要的半導體製程氣體，其具有高活性與劇毒性。鋼瓶內的B2H6即使未和其他物質接...

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