TSMC 廠務季刊

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Development and research on monitoring technology of arsenic-containing waste gas in Nanjing Factory

南京廠含砷廢氣的監管技術的發展與研究

文 | 張波 | 南京廠務部 |

含砷廢氣作為劇毒性氣體，在大陸環保管制被從嚴要求，監管手段除了常規的煙囪出口量測，更趨向于源頭管控。本文因應法規要求，於前端現址式處理裝置出口設置單獨風管收集，並設立標準檢測口進行標準化採樣檢測，在廢氣進入主管段之...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

With more strictly air pollution regulations, Local Scrubber improve strategy for aged operation Fab

日趨嚴謹空污法規對於成廠區LSC之精進改善

文 | 盧泓佑 | 新竹廠務二部 | 康智翔 | 新竹廠務二部 |

歷經二三十年的發展，半導體工業已經成為台灣最重要的經濟支柱之一，隨著半導體工業的高度成長，明星產業背後所隱藏工業污染問題也日益受到重視。各界漸漸對空污排放提高標準，而對於運轉多年半導體廠區，既設製程尾氣處理設備如何...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Inspection and Re-creation a Friendly Environment for Air Pollution Reduction for 30-year-old Factory

30年老廠空污健檢減量與再造友善環境

文 | 魏君穎 | 新竹廠務一部 |

由於環境污染日趨惡化，加上近年來環保意識抬頭，各界對於污染管制紛紛提高標準，工廠廢氣的排放也受到關注。對企業而言，除了必須遵守空氣污染法規的要求外，如何在資源有限的情況下降低廢氣的排放量和改善防制設備發揮最大效益，...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Destruction efficiency promotes with LOW NOx Operational Parameters of Dual Rotor VOCs Process System for Green Manufacturing

綠色製造 - VOC雙轉輪系統處理效率提升與LOW NOx運行參數

文 | 盧人瑜 | 亞太廠務處 | 楊詠翔 | 台南廠務六部 |

雙轉輪VOC開始使用，目的為提高VOCs的處理效率，降低排放量以利空污減量，廠區內使用廠商分為D公司與J公司，單轉輪設計處理效率為95%，雙轉輪設計預計能到達99%以上處理效率，VOCs的排放量減少為單轉輪設計的1/5。...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Exploration and Application of Autonomous air pollution detection in Nanjing Factory

南京廠空污自主檢測的探索與應用

文 | 張波 | 南京廠務部 |

環境問題已然成為當今全球最重視的話題之一，隨著半導體行業的飛速發展，人們也越來越重視該行業廢氣排放的研究與改善，但受限於在綫監測儀器的分佈率及成本，實驗手動檢測仍然是空污改善最常用的量測手段。因此南京厰建立廠內空污檢測實...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文

To investigate the Challenge of AAS Systems in tsmc 8"Semiconductor Fab

探討台積電八吋晶圓廠空污處理系統的挑戰

文 | 連上舜 | 竹科廠務二部 |

隨著台灣歷經了多次的空氣污染防制法的修訂與政策變遷，建置時的空污處理設備效率不彰是許多老廠正面臨的問題。如何持續精進空污處理設備以達到公司綠色製造，永續經營的理念是關鍵。本文以台積電首座八吋晶圓製造廠三廠為例，運用KT決...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文

Methodology for Exploring Air Pollution Control Measures in R&D Fab

探索研發廠空污防制對策之方法論

文 | 王若杰 | 竹科廠務三部 |

現今半導體製程發展一日千里，研發廠所面臨的空污排放問題，在處理防制上已是越來越困難了，其原因主要為研發廠空污問題具多變性及未知性，多未能有良好的空污處理經驗以茲依循，另因應研發製程的需求迫切，可擬定空污防制對策的時...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

The Evaluation and Exploration of New Technology on THC Air Pollution Monitoring

空污總碳氫化合物監測新技術評估及探討

文 | 林宗標 | 南科廠務一部 |

目前廠內有機廢氣污染防治設備，均使用Baseline 9000的總碳氫化合物（Total Hydrocarbon, THC）分析儀器量測廢氣的排放濃度。為了提昇競爭力及運轉彈性，本文依據環保署制訂的空污法規，進行T...

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