TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Increasing the capacity of Ammonium Sulfate Crystallization

循環經濟-硫酸銨結晶系統產能提升策略

文 | 劉子豪 | 周彥呂 | 林冠維 | 張子宸 | 張詠翔 | 新竹廠務六部 |

2018年台積引入機械式蒸氣再壓縮技術處理硫酸銨廢液，2021年將此技術由中科導入至竹科與南科。竹科與中南科非同系統商建造，其系統設計有部分不同，故在實務運轉之操作參數亦有差異；F12B藉由控制結晶顆粒大小來穩定推...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文

Operation and Maintenance for Crystallization Technology of Industrial Grade Ammonium Sulfate Liquid

硫酸銨乾燥系統運轉實務與維護保養

文 | 曾俞勳 | 田鎰菁 | 中科廠務二部 |

應用節能的機械式蒸氣再壓縮技術，將30%液態硫酸銨經由蒸發、濃縮再結晶，製作成為固態再生資源產品，以物理反應執行，將液體相變化為固體，使體積減少的機制達成減廢，雖原理簡單，但由於高濃度含結晶顆粒溶液，運作特性不同於以往...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文

A Study of Ammonium Sulfate Concentrated Technique

硫酸氨提濃技術探討

文 | 周劻輝 | 南科廠務五部 |

隨著法規納管標準漸趨嚴謹，半導體製程中廣泛使用氨水及硫酸，造成排放廢水含有高濃度氨氮以及廢硫酸廢棄物。業界普遍以脫氣膜方式去除水中氨氮濃度，進而衍生產出硫酸氨廢棄物。故本文介紹利用氨氮系統參數優化調整及硫酸氨回流等...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Tool Exhaust HEPA Retrofit in Particulate Matter Reduction

高效濾網於機台排氣粒狀物減量之運用

文 | 陳昭文 | 中科廠務三部 | 吳曜安 | 新廠工程管理部 |

近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2018年7月1日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費，因應粒狀污染物減量趨勢，各廠需積極進行白煙粒狀物改善。目前先進製程的粒狀污染物排...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

Application of Exhaust Shunting Retrofit in Particulate Matter Reduction

排氣分流改造應用於粒狀物減量

文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |

PM2.5空氣污染與健康危害之議題開始受到重視，近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2017年1月1日起各縣市列為三級空氣污染防制區，面對未來將進行總量管制及排放物種削減之趨勢，各廠需進行白煙粒狀物改善。目...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

New Cleaning Technology of Exhaust Ducting Powder

排氣風管結晶清潔新技術

文 | 藍家斌 | 南科廠務四部 |

南科十四廠五期於2013年5月開始將20奈米製程投入量產，伴隨著新製程開發，意味著新型態前所未見的問題也將衍生出來，其中又以濕蝕刻製程中酸鹼氣混和產生的結晶問題最為困擾。往例的清理採取定期清潔方式，不僅造成人力的負...

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