TSMC 廠務季刊

2013.9, Vol.11 / 技術專文

Apply Progressive Placement Method to Cleanroom Ceiling Construction

無塵室天花板高低平台工法應用

文 | 張文龍 | 陳芳明 | 十五廠廠務二部 |

晶圓廠的興建作業中，土建鋼構及無塵室的建造為主體項目，而無塵室的迴風格子樑設計導致土建作業的難度增加，為了能夠縮短整體工期滿足安全的要求，承攬商將公共工程常見重型施工鷹架導入在十五廠三期與四期廠房的無塵室新建工程，...

按讚

0

點閱 (54)

2013.6, Vol.10 / 技術專文

Performance-based Design of Smoke Removal in Cleanroom

無塵室性能式煙控設計

文 | 邱民昇 | 新廠設計部 |

無塵室內性能式煙控設計，係整合環境特性、氣流控制系統與排煙系統而成的煙控系統；以高程差環境建構出蓄煙井，調節氣流建構壓差環境，再配合終端之排煙設備將煙塵排至室外，達到煙控目的。性能式煙控經過驗證後，即可突破消防規章...

按讚

0

點閱 (51)

2013.6, Vol.10 / 技術專文

On-Site Fluorine Generator - a Low-cost and High-productivity Green Approach

低成本與高生產力的綠色製程 - 現場製氟技術

文 | 黃介然 | 新廠設計部 |

氟氣(F2) 已在半導體工業中廣泛使用多年，主要應用於製程設備反應腔室(Chamber) 的清潔，由於氟自由基(Radical) 可與沉積的薄膜(Si, SiO2, Si...

按讚

0

點閱 (31)

2013.6, Vol.10 / 新象新知

Biomimetics─ Self-cleaning of AAS Fan

仿生科技 - 製程排氣處理風扇自潔技術

文 | 陳政安 | 新廠設計部 | 錢立行 | 十二廠廠務一部 |

仿生學，一種透過觀察、研究、學習之後，將自然界中生物的各種特殊本領，包括生物本身的特殊結構、原理、行為，甚至是各種器官功能、體內的物理和化學過程、能量的供給、記憶與傳遞等應用於人類的科學技術，提供新的設計概念的技術...

按讚

0

點閱 (50)

2012.4, Vol.06 / 特別企劃

AMC Source Identification by CFD Modeling in Cleanroom

潔淨室氣態分子污染物(AMC)污染源之預測方法

文 | 曹志明 | 新廠設計部 | 黃正吉 | 製造技術中心 | 周政隆 | 新廠設計部 |

一般潔淨室設計中對於汙染源的預測大多採取由已知點釋放汙染物(實驗或計算)，再觀察汙染源擴散的情況的方式來瞭解汙染物在潔淨室中的行為。但在真實運轉中的潔淨室，通常我們只能觀測到結果，而無法得悉汙染物由何處而來，若擬求...

按讚

0

點閱 (78)

2011.10, Vol.04 / 技術專文

FFU Installation Procedure for New Fab Construction

新建廠FFU安裝程序之改善研究

文 | 謝松德 | 十二廠六期專案 |

針對新建廠之cleanroom 的 FFU+ULPA 之安裝施工方法，思考其改善方案；對施工承包商各種 extra cost 影響最少，但是卻能夠獲得最大改善效益，以此作為出發點；並基於設備之詳細尺寸、施工環境特性...

按讚

0

點閱 (21)

文章分類

熱門關鍵詞